반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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져스트에칭 - just etching

식각되는 재료의 막두께와 같은 깊이의 식각을 하는 것, 또는 이런 상태.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
혼상식이온교환탑 - mixed bed column

한 개의 이온 교환수지탑 중에, 양이온교환수지와 음이온교환수지 양쪽을 충전하여 사용하는 설비. 복상식과 비교하여 고순도의 물이 얻어진다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
해상도 분해선폭 분해능 - resolution

기판 위의 폭, 간격이 동일한 선폭레지스트 패턴을 형성할 때의 실용적인 최소선폭인데, 밑의 수식으로 구할수 있다. C1127 : 계수 : 파장 : 개구수 이 0.5일 경우를 한계해상도로 취급하지만, 일반적으로은 양산(量産)라인에서 0.7, 연구레벨에서 0.6을 이용하고 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
휘도 - brightness

단위시간에 단위면적, 단위입체각(solid angle)내에서 방사되는 전자의 양[단위:A/㎡sr]

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
진공법 - high vacuum method

결정성장용기 안을 고진공 분위기로 하여, 결정성장할 때의 결정순도향상 및 반응생성뭉을 유출시켜 청정분위기를 만드는 방법

반/디 용어집 단결정제조장치-형식 웨이퍼제공정
중성능공기필터 - medium efficiency particulate air filter

주로 5㎛보다 작은 입자에 대해 중간정도의 입자포집률을 갖는 공기필터. 일반적으로 주공기필터와 프리필터와의 사이에 설치하여 주공기필터의 동작을 보조하는 중간필터로써 이용된다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
프로브마크 검사 침선단검사 - probe - mark inspection

프로버에 있어서, 각 칩의 전극에 부착된 프로브니들의 접촉흔적의 크기와 위치를, 화상처리장치를 사용하여 검사하는 기능.

반/디 용어집 사공정 핸들링
플런저 - plunger

몰딩장치에서 포트 내의 성형재료를 캐비티에 주입하고 압력을 유지시키는 부품. 위에서 동작하는 것을 어퍼플런저(upper plunger), 밑에서 동작하는 것을 로워플런저(lower plunger)라고 부른다.

반/디 용어집 패키지 조립공정
혼류형청정실 - mixed flow clean room

한 공간 안에 일방향형과 비일방향형이 혼재하는 형식의 청정실. 생산라인상에서는 일방향형으로 하여 높은 청정도를 확보하지만, 그 외의 통로, 서비스영역은 비일방향류형으로 하여, 설비비 및 운전비의 저감을 도모하는 경우가 많다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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플런저 - plunger

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