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잔류염소계 - residual chlorine meter

염소는 수중의 피산화물에 의해 소비되고, 그 잉여분이 잔류염소형태가 되는데, 그 양을 측정하는 기구. 폴라로그래프(polarography)방식과 비색(比色)방식이 있다. 잔류염소라는 것은, 유리잔류염소(HClO 및 ClO-)와 결함잔류염소(수중의 암모니아 등과 유리잔류염소가 결합된 염소반응물)을 합하여 말한다.

반/디 용어집 사공정
적외선집중가열법 - infrared heating method

타원면 거울의 하나의 초점에 할로겐 램프르 설치하고, 다른 초점에 놓인 재료 위치에 빛을 모아 용융대역(melting zone)를 만드는 방법. 탄소가스레이저 등을 사용하는 경우도 있다.

반/디 용어집 단결정제조장치-형식 웨이퍼제공정
전압인가 전류측정 VSIM VFIM - voltage source(force) current measure - ment

피측정디바이스에 전압을 인가하여, 피측정디바이스에 흐르는 전류를 측정하는 것.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
질량분석 능력 - mass analysis capability

분석마그넷의 이온 편향능력의 지표. 편향되는 양으로 측정되는 이온의 질량과 에너지의 벡터내적을 이온의 전하량으로 나누어 준 것의 최대값으로 표현한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑
전자선손상 - damage of electron beam

전자빔을 시료에 조사하면서 발생하는 시료의 손상. 전자빔의 가속전압이 높을수록, 전자빔의 조사량이 많을수록 손상이 크다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
재생 - regeneration

이온교환수지에 흡착되어 있는 피처리물질(이온성물질)을 산, 알칼리의 약액과 전류를 흘려주어 제거하는 조작.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
저압역침투막 - low pressure reverse osmosis membrane

5～20 kg/㎠의 조작압력으로 운전하여 소정의 수량, 수질을 얻을 수 있는 역침투막. 합성고분자제 역침투막이 많다. 고압펌프를 운전하기 때문에 전력소비량을 절약할 수 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
정전파괴 - static demage

정전기 유도 현상에 의해, 마스크에 일단 전하가 축적된 상태에서, 방전에 의한 발열로 마스크 패턴의 일부가 녹아 패턴에 결함이 발생하는 것.

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정
전자압축기 바이어스 - electron suppressor bias

이온빔이 타겟에 주입되는 과정에 있어서, 여러 가지 전극, 개구(aperture) 등에 충돌한다. 이 때, 발생하는 이차전자가 발생장소에서 외부로 새나가지 않도록 전기장, 또는 자기장을 걸어주는 기구.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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재생 - regeneration

저압역침투막 - low pressure reverse osmosis membrane

정전파괴 - static demage

전자압축기 바이어스 - electron suppressor bias

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