분자선 에피택셜 성장장치 - molecular beam epitaxial growth system
성장시킬 재료를 10-8～10-9Pa의 초고진공 중에서 전자빔 모양으로 하여, 서로 마주보는 웨이퍼 위에 단결정층을 성장시키는 장치. 불순물, 결정결함이 극도로 작은 박막을 저온에서 만들 수 있다는 특징을 가지고 있다. 막 성장 중에 막의 조성을 분석하거나 결정성을 관찰하는 부속기능이 설계된다.
0.5% 불소산에 1～10%의 과산화수소를 혼합한 세정액으로, 영어의 첫 글자(initial)을 따서 FPM액이라고도 한다. 불소산만으로 세정하면 구리오염이 생기지만, FPM액은 구리오염이 없고 실온(室溫)에서 침적처리하면서 웨이퍼의 산화막과 금속오염이 제거된다. 세정면에 자연산화막도 형성되지 않는다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
샘플링 디지타이저 - sampling digitizer
수백MHz에서 수GHz의 주파수로 되풀이 되는 파형을 피측정주파수보다 낮은 주기로 위상을 조정하면서 샘플링하여, 입력파형과 상이성을 유지하면서 AD변화하는 파형디지타이저. 고속DA 컨버터가 작동하면서 특성 등을 평가하는 기능. 샘플링헤드, ADC, 메모리로 구성된다.
반/디 용어집사공정혼합형 디버그장치
브레이크다운 - air break down
렌즈를 통해 한곳에 모인 레이저광이 높은 전계를 얻어 공기 중의 먼지 등에 의해 절연파괴되는 현상. 마킹 불량의 한 원인이며, 미스파이어의 한 종류이다.
반/디 용어집조립공정마킹
여과기차압계 - differential pressure gauge
여과기의 입구와 출구의 압력차를 측정하는 기기. 원수 중 현탁물에 의해 여과층이 막히는 것을 검지하기 위한 것.
반/디 용어집사공정여과기차압계
비점수차 - astigmatism
원형의 단면을 가지며, 렌즈를 통과하는 빔이 회전대상에 집속되지 않고, 기판면 위에 타원형이 되는 수차. 이 수차는 비점보정장치(스티그미터)를 이용하여 보정하는 것이 가능하다.
반/디 용어집노광․묘화장치마스크제조공정
멀티헤드본더 - multiple head bonder
본딩헤드를 두 대이상 탑재한 와이어본더. 같은 품종 또는 다른 품종의 와이어를 동시에 본딩하므로, UPH를 향상시킬 수 있다.
반/디 용어집조립공정본딩
중금속폐수처리장치 - heavy metal waste water treatment equipment
중금속을 함유한 폐수 중의 중금속을 제거하는 장치. 중금속은 산성 용액에는 이온, 혹은 시안과 킬레이트제의 공존하에서 착이온으로써 용해된다. 처리법으로써는 알칼리응집침전법, 이온교환수지법, 킬레이트수지흡착법 등이 있다.
