정반면의 평탄도 열화와 선반의 손상을 없애기 위해, 슬러리(slurry)를 흘려주면서 위아래 정반면의 면 수정(修正)을 하는 홈이 파인 치차(溝付齒車).
반/디 용어집웨이퍼제공정래핑장치-하드기능
빔 필터 - beam filter
전하량이 큰 이온을 주입할 때, 이온빔과 잔류가스의 충돌 등에 의해 발생하는 저에너지 이온을 제거하기 위해, 적당한 전위장벽을 설계하는 기구. 전하량이 큰 이온의 주입은 장치최대가속전압 이상의 주입에너지가 필요한 경우에 사용된다.
반/디 용어집이온 주입장치웨이퍼처리공정
미립자수 - number of particles
초순수에 함유된 오염물질(contaminant)에서 무기질 입자 및 미생물입자 등으로 구성된 것. 멤브레인필터상에서 포집하여, 광학현미경과 전자현미경을 이용하여 수를 세는 방법, 혹은 인라인에 설치된 입자계수기(particle counter)로 직접 수를 세는 방법이 있다. 구해진 개수를 개/ml로 표시한다.
반/디 용어집설비․환경공정물
서크 백 - suck back
레지스트 도포장치에 있어서, 노즐에서 레지스트가 수직으로 떨어지는 것을 막기위해, 한방울씩 떨어뜨린 후 노즐 안의 레지스트를 빨아들이는 것.
반/디 용어집웨이퍼처리공정도포장치
실릴화 처리장치 - silylation system
표층(表層) 이미지프로세스의 일종인 실릴화 프로세스를 하는 장치. 레지스트의 노광부 표층에 선택적으로 실리콘 함유영역을 형성한다. 실릴화 처리를 기상(氣相)하면 기상실릴화, 액상에서 하면 액상실릴화 프로세스라고 한다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정도포장치
빔 수속계 (收束系) - beam focused lense
이온빔의 초점을 맞추는 렌즈작용을 갖는 부분의 총칭. 정전계 극렌즈, 자계렌즈, 정전4중극렌즈 및 자계4중극렌즈가 있다.
반/디 용어집이온 주입장치웨이퍼처리공정
연마재혼합호닝장치 - wet powder horning machine
수지 플래시와 레진찌꺼기를 연마재 혼합수용액의 고압분사에 의해 제거하는 장치. 프레임의 공급, 액체호닝(horning), 순수세정, 건조, 수납장치로 구성된다.
반/디 용어집조립공정마무리
블랭킹 주파수 - blanking frequency
라스터 방식의 전자빔 노광장치에서 일정 폭의 편향주사와 동기시켜서 빔을 온/오프시키는 주파수.
반/디 용어집노광․묘화장치마스크제조공정
볼쉐어강도 - ball shear strength
볼과 패드와의 접합간의 접합강도. 접합면에 평행으로 눌러 볼을 벗겨내는데 필요한 힘이다. 웨지본딩의 경우는 본드쉐어강도라고 한다.
