유즈포이트배관 단말배관 - distribution piping for ultrapure water
서브시스템에서 유즈포인트로 물을 보내고, 다시 서브시스템으로 보내도록 연결된 배관. 배관에는, 유량계, 압력계, 비저항계 등 센서 및 제어기가 부착되어, 유량, 압력, 온도가 제어되고, 수질유지를 위해, 체류부분이 없어야 하며 적당한 유속이 필요하다. 밑의 그림에 표시된 리버스리턴(reverse return)방식이 많이 이용된다. 이 방식은, 공급배관과 귀환배관을 구별하여, 역류를 방지하고, 초순수의 수질을 유지한다.
반/디 용어집
설비․환경공정
물
