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빔사이즈 - beam size

성형빔 방식의 전자빔 묘화장치에 있어서, 기판면 위에 형성된 전자빔상의 크기.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
선폭정밀도 - line width accuracy

선 패턴을 웨이퍼 위에 노광 전사 후, 현상하여 얻어지는 레지스트 위의 선폭의 정밀도.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
빔드리프트 - beam drift

전자광학경통(鏡筒)의 설정조건과 묘화조건을 일정하게 유지하는데 있어서, 전자빔의 모든 특성이 시간에 따라 변하는 것

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
비정재파형초음파발생장치 - nonstanding wave type ultrasonic generator

초음파 세정에 관한 세정얼룩의 원인이 되는 정재파의 발생을 억제하기 위해, 서로 다른 주파수나 위상차를 갖는 여러 개의 초음파를 세정액에 가하는 초음파발생장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
스킵측정 - skip measure - ment

테스트 프로그램에 있어서 지정된 측정항목을 실행하지 않고 다음 단계로 넘어가는 기능.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
묘화 모드 - writing mode

패턴을 묘화하는 양식. 묘화할 때, 어드레스 사이즈, 대상(마스크와 레티클), 묘화 스피드, 혹은 묘화 데이터 포맷 등이 설정가능한 파라메터로 표현된다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
어스펙트비 - aspect ratio

현상된 레지스트막 또는 식각으로 웨이퍼 위에 형성된 패턴의 깊이와 폭의 비. 어스펙트비=b/a (a : 식각폭, b : 식각의 깊이)

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
미러투영 노광장치 - mirror projection aligner

투영광학계에 미러(mirror)를 장착한 노광장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
미시적결함 - microscopic defect

패턴의 치수와 비슷하거나 작은 패턴결함. 에지결함․코너결합․고립결함․패턴누락․패턴위치부정합 등이 있다. 투명결함(백결함)․불투명결함(흑결함)․반투명결함(회색결함)으로 구분된다. ①코너 빠짐 ②코너 돌기 ③핀 도트(pin dot, pinspot, 섬) ④핀홀 ⑤관입(intrusion) ⑥mouse-nip(rotbite) ⑦돌출(extension, protrusion) ⑧테두리거칢(edge roughness)⑨브리지(bridge, short) ⑩절단(break, slit) ⑪패턴누락(pattern missing)

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

탄성계수 - elastic modulus

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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