공기 중에 부유하는 입자를 여과작용에 의해 포집하는 재료. 주요한 재료로써 유리섬유, 합성섬유, 금속섬유 등이 있어, 또 멤브레인필터도 실용화되고 있다. 이것에는 여과포, 여과지, 망 등의 모양으로 사용한다.
반/디 용어집가스설비․환경공정
압력쇼크 - pressure shock
압력쿠거에 있어서, 가압상태에서 즉시 대기압으로 하강될 때에 생기는 압력(온도)의 급격한 변동에 의한 스트레스 쇼크.
반/디 용어집사공정에싱
방진마스크 - clean mask dust free mask
작업자가 내쉰 숨 속에 포함된 미립자․미스트의 먼지를 방지하기 위해 사용되는 청정실용 마스크.
반/디 용어집청정실설비․환경공정
비저항(比抵抗) - resistivity
전자(정공)의 이동도()와 농도()에 관계된 양으로, 반도체 속에서의 전류가 얼마나 쉽게 흐르는 가를 나타내는 지표. C649 :전하
반/디 용어집특성용어검사
색차분리처리 - YC separate
측정하려는 이미지센서디바이스의 출력에서 휘도신호(Y신호)와 색차신호(크로마신호)를 분리하기 위한 신호.
반/디 용어집사공정이미지센서 검사장치
아레니우스 그래프 아레니우스 플랏 - Arrhenius graph Arrhenius plot dependence of life time on temperature plot
피측정디바이스의 수명 추정에 필요한 활성화 에너지의 값을 구하는 그래프. 전자이동성시험과 TDDB시험 등의 결과를 이용하여 구한다.
반/디 용어집사공정에싱
바이어스 스퍼터링 장치 - bias sputtering system
웨이퍼에 음(-)의 바이어스 전압을 걸어주는 것이 특징이다. 이온의 일부가 기판에 흘러 들어가고 막성장과정에서도 웨이퍼 표면이 이온과 충돌하므로, 막 표면에 흡착된 불순물가스를 주입시켜 순화시켜 주며, 단차 피복성(step coverage)의 개선 및 평탄화 효과의 개선해준다.