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스크리닝 - screening

제품의 품질 및 신뢰성 레벨을 얻기 위해, 고장메카니즘에 따라 시험하여, 잠재결함의 제품을 제거하는 것.

반/디 용어집 사공정 에싱
비디오신호 측정기능 - video signal measure - ment

TV, VTR 등의 비디오신호의 파라메터를 측정하는 기능으로 NTSC, PAL, SECAM 신호원, 진폭계, 위상계 등으로 구성.

반/디 용어집 사공정 디버그
모니터보드 - monitor board

번인에 있어서 피측정디바이스가 주어진 신호 및 전원전압에 대하여 정상적으로 출력하고 있는가를 체크하는 기능을 갖는 보드. 또, 피측정디바이스용의 드라이어의 감시를 목적으로 하는 보드. 체크보드라고도 한다.

반/디 용어집 사공정 에싱
반사전자 - black - scatterd electron

전자가 고체표면에 입사할 때, 고체표면에서 반사되거나 물질의 내부에 칩입한 후 산란하여 입사전자와 반대방향으로 방사(放射)되는 비교적 에너지가 높은 전자

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
스케일링 - scaling

원래 도형의 확대 또는 축소상(像)을 묘화하는 것. 데이터 변환 또는, 묘화할 때 실시된다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
빔전류 프로브전류 - beam current probe current

사각형 모양으로 성형되거나, 또는 가우시안빔 모양으로 집속되어, 기판 위에 도달하는 전자빔의 전류량

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
어드레스 선점기능 - address scramble function

패턴발생기에서 발생한 어드레스를 피측정메모리 내부 셀의 배치에 맞는 어드레스로 변화하는 기능.

반/디 용어집 사공정 디버그
양면폴리싱기 - double side polishing machine

4-way의 운동기구를 갖고, 웨이퍼를 캐리어 안에 배치된 구멍에 배열한 윗정반에 다수배열된 슬러리 구멍으로 슬러리를 양면을 도잇에 거울면으로 하는 장치. 위아래정반은 평면으로 화학적으로 침투되지 않는 연마포를 부착한 것을 사용한다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱
어닐 - anneal

각종 가열원을 이용하여, 시료의 열처리하는 것. 가열원의 종류에 따라 레이저 어닐장치, 전자 어닐장치, 플래시램프 어닐장치, 열방사 어닐장치, 전기로 어닐장치로 구분된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 어닐

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

탄성계수 - elastic modulus

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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모니터보드 - monitor board

반사전자 - black - scatterd electron

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빔전류 프로브전류 - beam current probe current

어드레스 선점기능 - address scramble function

양면폴리싱기 - double side polishing machine

어닐 - anneal