주기성이 거의 결정전체에 걸쳐 유지되는 단결정. 그러나 결정내부에는 격자결함을 갖고 있으며, 에치 피트에서 10～106개/㎠ 정도의 전위가 있는 결정을 말한다.
반/디 용어집특성용어검사
오프액시스 정렬 - off - axis alignment
노광위치와 다른 위치로 정렬한 광학계를 배치하여, X방향, Y방향, θ방향의 위치정합을 행하는 방법. 쓰루풋이 높다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정노광
온도사이클시험 - cycling test
피측정디바이스를 고온 및 저온에 반복적으로 노출시켜, 단위치수 및 다른 물리적성질의 변화를 생성시키는 동작특성 및 물리적손상의 내구성을 결정하기 위하여 실시하는 시험.
반/디 용어집사공정에싱
자가발전설비 - non - utility generation facility
사용자가 전력회사의 전기와는 별도로 자사에서 발전하여 사용하는 장치. 디젤엔진과 가스터빈을 원동력으로 한다. 시동에는 수초에서 수분의 시간이 필요하고, 방재설비와 보안설비에 전력을 공급할 목적의 것이 많다.
반/디 용어집청정실설비․환경공정
이온교환막 - ion exchange membrane
수중의 양이온 또는 음이온을 선택적으로 투과시키는 능력을 가진, 필름모양의 고분자막. 이 모체중에서는 양 또는 음의 전하를 갖는 교환기(交換基)를 갖는다. 양이온을 투과시키는 성질을 갖는 양이온교환막과, 음이온을 투과시키는 음이온 교환막 외에, 양(兩)성이온교환막 등이 있다.
반/디 용어집사공정신뢰성 검사
연X선조사제전장치 - soft X - ray charge neutralizer
에너지가 높은 연X 선으로 제전대상물근방의 기체분자를 이온화하여, 대전물체표면의 전하를 반대극성의 이온으로 중화․제전하는 장치. 일반대기압의 진공분위기와 불활성가스분위기에 유효하다.
반/디 용어집가스설비․환경공정
열확산장치 - thermal diffusion furnace
온도와 가스유량을 제어하여 p형, n형의 불순물을 웨이퍼 속에 열확산하기 위한 장치. 반응관 및 히터의 배치방법에 의한 수평형열확산장치, 수직형열확산장치로 구분된다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정도핑
와전류법 - eddy current method Foucault current method
무접촉으로 저항률을 측정하는 방법. 여진 코일로 검출하는 방법에 있어서, 공심코일을 이용한 경우의 판상시료의 시트도전률 와, 와전류 검출전압의 관계는 다음 식으로 주어진다. C630 여기에서 는 여기주파수, , 은 코일권수, 은 여진코일에 흐르는 전류, 은 계수, 는 코일반경이다.
