비휘발성 반도체메모리(플래시메모리 등)에 있어서, 쓰기 또는 지우기를 실행에서 허용되는 에러회수.
반/디 용어집사공정에싱
수평브릿지만법 - horizontal Bridgman method
증기압 온도와 용융액유지온도를 공급하는 2개의 저항가열로가 내부의 석영봉관에 대해 상대적으로 좌우로 이동시키면, 용융액은 보트의 끝에서 응고하기 시작한다. 이 때, 다른 조건을 적당하게 제어하여 용융액 전체를 단결정화하는 방법. 이방법에는 온도경사법(gradient freeze method)과 복온도법이 있다. 현재는 많은 화합물반도체의 결정성장에 사용되고 있다.
반/디 용어집웨이퍼제공정단결정제조
산소석출 - precipitation of oxygen
열처리과정에서 Si 중에 존재하는 산소가 무정형, 크리스트바라이트 등의 화합물 등으로 석출되는 것.
반/디 용어집열처리용어웨이퍼제공정
미충전 - non filling
몰드성형에서 캐비티 안에 수지가 완전하게 주입되지 않는 결함.
반/디 용어집패키지조립공정
벨자 - belljar
종(鐘)을 엎어놓은 모양을 한 반응실. 에피택셜 성장장치 등의 반응실을 말하며, 재질로는 석영 또는 금속이 이용되고 있다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정박막형성장치
범프테스트 기능 - bump test function
시험패턴을 인가하는 중에, 피측정디바이스에 공급되는 전원전압을 변화시키면서 시험하는 기능.
반/디 용어집기본․공통사공정
보트전달기 - boat transfer
여러 개의 수직형 반응관을 일렬로 나열하고, 자동화된 장치의 한 끝에서 보트를 반응관열을 따라 이동(반송)시키고, 각 반응관에 설치된 보트 핸들러(boat handler)로 보트를 받거나 넘겨주는 장치.
