회전하는 브러시에 세정액을 부으면서, 세정면을 누루면서 이동시켜, 표면부착물을 모조리 세정하는 장치. 브러시의 모양에는 원통형과 컵형이 있고, 브러시의 재료에는 식물성 털과 스폰지가 있다. 레지스트 도포 전에 먼지를 제거하는 데 사용되는 것 외에, 최근에는 웨이퍼 뒷면의 오염을 제거하는 것에 사용되고 있다. 한 면만 처리하는 장치와 양면을 동시에 처리하는 장치가 있다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
블럭컷 - block cut
당겨올려진 잉곳 양쪽 끝을 자르고, 잉곳 중앙부를 절단하고 샘플을 절단하는 가공.
반/디 용어집기계가공웨이퍼제공정
벡터상관법 - vector correlation method
패턴인식법의 일종으로 기준이미지와 피측정물 이미지의 윤곽을 비교하고 양자간의 일치도 및 위치를 측정하는 방법
반/디 용어집조립공정기본․공통
방전전해연삭장치 - electric discharge aided grinding machine
기계, 방전, 전해가공을 복합하여 절단하는 복합가공장치. 연마기에 의한 기계가공을 주로 하고, 이를 위해 펄스모양으로 방전시키는 방법이 있다.
반/디 용어집기계가공웨이퍼제공정
베이킹온도 균일성 베이킹온도 분포 - baking temperature uniformity
베이킹할 때, 오븐의 온도 균일성. 계산식은 레지스트막두께 균일성을 참조.
반/디 용어집베이킹장치웨이퍼처리공정
베르누이 척 - Bernoulli chuck
우산 모양의 척의 중심에서, 공기를 우산의 빗살에 따라 방사상으로 불어주어 중심부가 압력을 받게되는 것을 이용한 흡착용 척.
반/디 용어집조립공정다이싱
빔직경 가우스상 직경 - beam diameter diameter of Gaussian image
가우시안 빔방식의 묘화방식에 있어서, 기판면 위에 집속된 빔의 직경. 보통, 이 크기는 표준편차으로 표시된다.
