열산화에 의해 금속의 표면에 부동태피막을 형성시키는 기술. 수분을 주로하는 아웃가스를 억제한다. 또, 피막의 조성은 Cr2O3가 주이기 때문에, 염소계와 브롬계 등의 가스에 대한 내부식성이 우수하다. 오스테나이트계 및 펠라이트계 스테인레스가 하지(下地)의 금속으로써 이용된다.
반/디 용어집가스설비․환경공정
이온교환수지 - ion exchange resin
수중에 존재하는 이온을 흡착제거하는 능력을 갖는 비즈(beads)모양의 합성수지. 양이온교환수지, 음이온교환수지의 두 종류가 있다. 같은 능력을 갖는 섬유 모양의 수지도 있다.
반/디 용어집설비․환경공정물
와이어공급 - wire feed
웨지 툴로 본딩할 때에 와이어컷 후, 웨지툴의 앞 끝으로 와이어를 보내는 것. 또 캐필러리를 사용할 때에 와이어를 캐필러리의 앞끝으로 보내는 것.
반/디 용어집조립공정본딩
왁스리스연마 - waxless polishing non wax polishing
마운트판에 웨이퍼를 접착시키지 않고, 연마하는 방식. 높은 마찰계수를 갖는 다공질 폴리우레탄포(布)에 올려놓는 방식과 진공흡착하는 방식 등이 있다.
반/디 용어집웨이퍼제공정폴리싱
연삭홈형성장치 - cross feed device
공작물에 연삭홈을 가하는 장치.
반/디 용어집기계가공웨이퍼제공정
입실자관리 - access control
청정실안의 청정도유지와 기밀보호를 위해, 작업구역 등의 특정장소 또는 방으로의 입실을, 정해진 사람 혹은 사람수로 제한하는 관리. ID카드와 카드리더(card reader)로 전기시건장치를 열거나, CCTV와 인터폰으로 확인하는 등의 방법이 있다.
