고속회전에 의한 원심력을 이용하여 물이 떨어뜨려 신속하게 건조하는 장치. 건조 내부를 스프레이 세정할 수 있는 기능을 갖는 것을 특히 린서드라이어(rinser dryer)라고 한다. 최근에는 웨이퍼와 카세트의 정전기를 제거하기 위해 이오나이저(ionizer)를 내장하는 것과 카세트에 넣은 웨이퍼 개수의 차이를 미리 검출하여 무게중심 위치를 자동 조절하여 회전진동에 의한 치핑(chipping)을 방지할 수 있도록 한 것도 있다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정세정
원라인 컴파일러 - one line complier
고급언어로 쓰여진 테스트 프로그램을 한 줄 단위씩 기계어로 번역하여 능률적으로 디버깅하는 기능.
반/디 용어집기본․공통사공정
인장테스트 - pull test
2점간을 본딩한 와이어의 루프를 수직으로 늘려, 본딩강도를 측정하는 테스트방법. 파괴검사와 비파괴검사가 있다.
반/디 용어집조립공정본딩
인터페이스 장치 - interface unit
X, Y, Z방향으로 반송하고, 반송레벨을 조정하는 장치. 이것으로 도포․현상장치와 노광장치를 연결해, 도포-노광현상공정을 인라인(inline)화할 수 있다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정도포장치
위상차측정장치 - phase shift measure - ment system
마하엔터간섭계를 응용하여 스테퍼의 노광파장과 동일한 파장에서 위상 시프트 마스크의 위상차 혹은 투과율을 측정하는 장치
반/디 용어집검사장치마스크제조공정
웨이퍼 자동 이송장치 - wafer automatic transfer system
카세트에서 각 처리장치에 웨이퍼를 1장씩 또는 여러 장씩 자동적으로 이송시키는 장치. 카세트스테이지, 웨이퍼반송 로봇 및 인터페이스로 구성되어, 카세트반송 로봇과 한 세트가 되어 사용되는 경우가 많다.
반/디 용어집기본․공통웨이퍼처리공정
잉크젯인쇄기 - inkjet printer
잉크를 노즐에서 분사되어 마킹하는 장치. 접촉하지 않고 플라스틱, 금속, 종이 외에 곡면에 마킹할 수 있다.
