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입출고최적순번제어 - due in - out sequence control

자동번인시스템의 반송제어에 있어서, 한 개의 스테이션에서 여러 개의 항온조로, DUT를 탑재한 캐리어래크를 반송하는 경우에, 다수의 캐리어래크를 동시에 다루는 반송시간을 최소로 하기 위하여, 입고(투입)와 출고(방출)의 최적의 순번을 결정하는 제어.

반/디 용어집 사공정 에싱
입력응답속도 입력슬루레잇 - input slew rate

일정한 타이밍의 정밀도, 입력 임피던스 등을 유지할 수 있는 범위에서의 입력 천이속도의 상한(maximum)으로 이 속도를 넘어서면 출력이 입력을 따라오지 못해 출력파형이 왜곡된다. 이것은 비교기의 동특성의 하나로써도 사용된다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
인라인히터 - inline heater

가열약액세정과 가열순수린스를 하기 위해, 공급배관 또는 순환여과배관에 약액을 흐르게 하면서 가열할 수 있도록 한 장치. 처리조 안에 투입 히터를 사용하지 않고 세정할 수 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
이면광택도 - back surface luster

한 면 혹은 양면연마 웨이퍼에 있어서, 디바이스제조에 공급되는 표면의 반사율을 100%로 할 때의 이면의 반사율

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱
오존모니터 - ozone monitor

오존세정과 오존산화용으로 공급되는 가스중의 오존농도의 분석과, 자외선램프의 주변에서 발생하는 오존의 농도를 관리하는 모니터. 측정원리에는 자외선흡수법 및 격막식 폴라로그래피법이 있다. 또, 웨이퍼세정에 이용되는 초순수 중의 미량오존의 농도를 관리하는 것에도 사용된다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
오버에칭 과식각 - overetching

식각되는 재료의 막두께보다 많이 식각하는 것, 또는 이런 상태.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
온도경사 비율 - ramp rate

어닐장치 등의 가열장치에 있어서, 어닐대상물을 가열하여 원하는 온도에 도달할 때의 온도상승 및 하강속도

반/디 용어집 어닐장치 웨이퍼처리공정
이미지센서 검사장치 - image sensor test system

반도체 촬상소자(CCD 등)에 있어서, 전기적․광학적 특성을 측정하는 장치.

반/디 용어집 사공정 이미지센서 검사장치
이온주입 장치 - ion implanter

운동에너지를 갖고 있는 이온을 쏘아, 시료의 물성을 제어하기 위한 장치. 이온원․인출전극계(系)․질량분석계․주입실 등으로 구성된다.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

탄성계수 - elastic modulus

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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입력응답속도 입력슬루레잇 - input slew rate

인라인히터 - inline heater

이면광택도 - back surface luster

오존모니터 - ozone monitor

오버에칭 과식각 - overetching

온도경사 비율 - ramp rate

이미지센서 검사장치 - image sensor test system

이온주입 장치 - ion implanter