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거시적결함 - macroscopic defect

패턴 치수로 비교할 때, 충분히 큰 다이 결함. 패턴의 찌그러짐, 큰 위치 부정합 등이 있다.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
갈바노미터스캐너 - galvanome - ter scanner

미소한 전류에 의해 구동되는 소형․고속의 모터로 회전자에 반사경을 붙여 레이저 빛의 방향을 원하는 위치로 바꾸어 주는 역할을 한다. 보통 X, Y 한 쌍이 한 세트를 이룬다.

반/디 용어집 조립공정 마킹
고체증발원 - solid vaporizer

이온을 발생시킬 때, 이온원에 편입되어 이용되는 고체시료용 증발원. 시료는 히터에 의해 진공 중에서 수백。C로 가열되어, 증기로 된 플라즈마가 생성될 때에 도입된다. 주로 안전성의 관점에서 독성가스를 대신하여 사용되는 경우가 많다.

반/디 용어집 이온 주입장치 고체증발원
격자간산소 - interstitial oxygen

실리콘의 결정격자 사이의 공간에 존재하는 산소. CZ법으로 성장한 실리콘 단결정 중에는 1018개/㎤정도의 산소가 함유되어 있다. 이것들은 격자간에 존재하고 있다. 이것에 대하여 실리콘 단결정 속에 포함된 탄소는 실리콘원자와 치환되어 존재하는 것이므로, 치환형 탄소라고 한다.

반/디 용어집 격자간산소 특성용어
건식배기처리장치 - dry type exhaust gas abatement equipment

수분을 보급할 필요가 없는 흡착재를 이용하여, 반도체제조장치 등에서 배출되는 유해가스를 무해화하는 장치. 수분이 필요없기 때문에 건식이라 부른다. 연소식과 분해식을 건식이라고 부르는 것도 있다.

반/디 용어집 가스 건식배기처리장치
광유기전류 광여기전류 OBIC - optical beam induced current

역바이어스 상태에 있는 PN접합부에 빛을 조사할 때에 흐르는 전류.

반/디 용어집 optical beam induced current 사공정
그룹지연시간측정 - group delay measure - ment

신호가 디바이스 안으로 통과할 때, 각 주파수마다 다른 위상의 지연이 발생한다. 이 때, 이 위상차의 상대값을 측정하는 것.

반/디 용어집 사공정 group delay measure- ment
그레이티드패널 - grated panel

자유접근플로어를 구성하는 강판 또는 스테인레스로 된 통발모양의 바닥패널. 환기의 흡입구로 되어 환기성이 좋지만, 반송로봇의 주행성 및 작업자의 거주성에 어려운 점이 있다.

반/디 용어집 청정실 grated panel
감압성형 - vacuum molding

성형금형에 있어서, 주로 보이드(void)를 줄이기 위하여, 금형 안을 대기압 이하의 상태에서 성형하는 방법.

반/디 용어집 패키지 조립공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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그레이티드패널 - grated panel

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