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CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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검사수정장치 - pattern defect inspection and repair system

기판 위에 형성된 패턴의 치수와 결합의 유무를 검사하고, 결함이 있을 경우, 이 결합을 수정하기 위한 장치의 총칭. 치수측정장치․결함검사장치․결함수정장치 등이 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
랭크마킹 - rank marking

반도체소자 등의 전기적 특성을 측정하여, 측정결과에 대응되는 랭크기호를 마킹하는 것. 일반적으로는 레이저마커에의 회전마스크방식, 또는 마스크문자선택방식이 이용되고 있다.

반/디 용어집 조립공정 마킹
로터리테이블 원형테이블 - rotary table circular tabel

주로 연속회전하면서 절삭하는데 사용하는 원형 테이블.

반/디 용어집 기계가공 rotary table circular tabel
매거진 - magazine

본딩디바이스를 공급하고 수납하기 위한 용기. 로더, 언로더에 수납된다.

반/디 용어집 조립공정 기본․공통
경사입사간섭계방식 - grading incidence interferometer method

측정하려는 물체 표면에 대해 프리즘 등을 사용하여 빛을 비스듬하게 투사하여, 이 반사광과 기준(reference)면에서의 반사광으로 형성된 간섭무늬에 의해, 표면의 평탄도(flatness), 휨를 측정하는 방법.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
건조호닝장치 - dry powder horning machine

수지 플래시와 레진찌꺼기를 건식연마재로 제거하는 장치. 리드프레임의 공급, 브래스트, 니어블로우, 수납장치로 구성되어 있다.

반/디 용어집 조립공정 마무리
고주파본딩 - high frequency ultrasonic bonding

90kHz 이상의 높은 주파수의 초음파진동을 이용한 접합방식. 초음파주파수로써는, 90kHz, 120kHz, 190kHz 등이 사용되고 있다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
농축수 - concentrate brine

역침투막을 이용하여 수중의 불순물과 물을 분리할 때에, 막에 투과시키지 않고 불순물을 농축한 형태로 나오는 물. 수질에 따라 다르지만 급수량의 10～30%정도의 양이 된다.

반/디 용어집 concentrate brine 설비․환경공정
감압배기시스템 - exhaust system

실린더캐비넷과 장치진공배기펌프 등의 특수재료 가스누설이 예측되는 곳을, 블로워(blower) 등으로 상시 감압하여 배기하는 시스템. 특히 특수고압가스용 실린더캐비넷에 있어서는, 본 시스템의 설치가 의무적이다. 또, 습식처리장치(wet station)등에도 사용되고 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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랭크마킹 - rank marking

로터리테이블 원형테이블 - rotary table circular tabel

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고주파본딩 - high frequency ultrasonic bonding

농축수 - concentrate brine

감압배기시스템 - exhaust system

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