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가속관 - acceleration tube

가속방식에 의해, 분석계(analyzing system)의 전이나 후에 설계되며, 이온에 에너지를 공급해 주는 관. 절연막과 전극으로 구성되며, 보통 다단구조이다. 각 전극에는 가속전압을 분할하여 인가하고, 전극간에 형성된 전계에 의해 이온을 가속한다.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정
깊은 불순물준위 - deep level

반도체 금지대역 중 대체로 중앙부근에 존재하며, 정규의 격자점에 대하여 과부족한 원자에 의하여 발생하는 에너지 준위에 대응하는 준위.

반/디 용어집 특성용어 검사
로테이션 - ratation

원래 도형을 데이터 변환시에 묘화된 도형이 점대칭으로 회전하도록 처리하는 것. 90°단위로 실행하는 것이 일반적이다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
로딩프레임 - loading frame

트랜스퍼모드에 있어서 성형금형에서 리드플레임의 위치를 결정하는 장치와 성형 후에 빼내는 역할을 하는 테두리 형태의 핸드툴(hand tool)

반/디 용어집 패키지 조립공정
검사제어기 TCP - tester control processor

테스터 자신의 하드웨어 및 소프트웨어를 주(主)로 하여 관리하는 전용제어프로세서.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
마킹광학계 - marking optics

레이저마커의 광학계 전체. 레이저빔의 도입광학계 및 마스크 형상을 만드는 렌즈로 이루어진 광학소자, 마스크, 피가공물을 도입시킨 출사(出射)광학계 및 마스크 상의 피가공물 위에 결합시킨 결상렌즈로 구성되어 있다.

반/디 용어집 조립공정 마킹
레이저스폿 - laser spot

레이저빔을 하나로 모아서 조사할 때의 집광(集光)시킨 조사점. 결상광학계를 이용한 경우는 결상점을 가리킬 때도 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
마우스홀 - mouse hole

소자패턴의 단차부(step)에 박막을 형성시킬 때, 측벽과 평면의 막질이 달라서, 이후의 식각공정에서 부분적으로 높은 속도로 식각이 진행되어 발생하는 벌레먹은 모양의 구멍

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
루프형상 - loop shape

2점간을 접속할 때, 활 모양으로 형성된 본딩와이어의 모양.

반/디 용어집 조립공정 본딩

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

가속관 - acceleration tube

깊은 불순물준위 - deep level

로테이션 - ratation

로딩프레임 - loading frame

검사제어기 TCP - tester control processor

마킹광학계 - marking optics

레이저스폿 - laser spot

마우스홀 - mouse hole

루프형상 - loop shape

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