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네일헤드본더 볼 본더 - nail head bonder

볼 본딩하는 장치. 툴의 상하운동, 와이어의 제어, 볼제작을 하는 토치(torch) 등으로 된 본딩헤드 및 테이블, 시료를 가열하는 장치 등으로 구성되어 있다.

반/디 용어집 조립공정 nail head bonder
감압법 - reduced pressure method

결정성장용기 안에 불활성가스를 흘리면서 가스배출 쪽으로 진공펌프로 감압시키고, 결정성장할 때의 반응생성물을 배출하여 청정분위기를 만들어 내기 위해, 감압 중에 가속시킨 불활성가스를 통과시켜 냉각효과를 높이는 방법.

반/디 용어집 단결정제조장치-형식 웨이퍼제공정
가속전압 - acceleration voltage

인출전극으로 가속된 이온에, 원하는 이온에너지를 주기 위한 가속관에 인가되는 전압. 이온에너지와 가속전압과 인출전압의 합, 그리고 이온이 몇 가 이온인가에 따라 결정된다.

반/디 용어집 이온 주입장치 가속전압
기류속도 - airflow velocity

일방향류형 청정실에 있어서, 일방향류를 형성하는 공기의 속도. 입자오염물의 배출능력 열기류의 영향저감, 에너지절약 등을 고려하여, 일반적으로, 기류속도는 0.25～0.5m/s가 이용된다.

반/디 용어집 청정실 airflow velocity
글로벌정렬 - global alignment

스텝식 투영노광장치에 있어서, 위치정보에 의한 추정계산을 토대로 하여, 웨이퍼스테이지를 노광위치로 이동시키는 정렬방식.

반/디 용어집 글로벌정렬 global alignment
거울면웨이퍼표면검사장치 LSM표면검사장치 - laser surface scanner light scattering measurement system

웨이퍼 표면에 레이저 등의 빛을 조사하여, 웨이퍼 표면의 이물과 미립자의 크기, 밀도분포 등을 측정하는 장치. 특히 표면에서 500㎚정도의 깊이까지 존재하는 결정결함의 측정도 가능한 장치를 LSM표면검사장치라 한다.

반/디 용어집 거울면웨이퍼표면검사장치 LSM표면검사장치 검사
리테이너링 - retainer ring

웨이퍼가 연마중에 이탈하는 것을 막기 위한 장치

반/디 용어집 웨이퍼제공정 retainer ring
극성반전 포토마스크 - reverse polarity photomask

막(膜)의 면을 아래에서 볼 때, 패턴 쪽으로 향한 면이 원화와 동일한 배치이며, 흑백관계가 거꾸로인 마스크를 가리키는 그림의 (a)와 (c) 그리고 (b)와 (d)의 관계가 이것에 해당된다.

반/디 용어집 기본․공통 reverse polarity photomask
고주파전원 - RF generater

플라즈마방전의 여기용으로 사용되는 전극. 발진주파수로서는 13.56MHz가 가장 많이 사용되고 있다. 보통 매칭기기가 같이 사용된다.

반/디 용어집 건식식각장치 고주파전원

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

네일헤드본더 볼 본더 - nail head bonder

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고주파전원 - RF generater

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