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노점계 이슬점계 - dew point meter

고순도가스 중에 함유된 미량의 수분을 검출하여, 노점(。C) 또는 수분농도를 표시하는 계기. 보통 ppm 레벨의 측정이 가능하지만, 서브ppb 레벨을 측정하는 계기도 있다. 검출법에는 미러(mirror)식, 저온광학식, 정전용량식, 레이저분광식 등이 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
결합도 - grade

연삭휠의 연마입자의 결합정도.

반/디 용어집 기계가공 grade
격자정수 - lattice constant lattice parameter

결정격자의 단위셀을 정하는 수치로 셀의 모서리의 길이와 모서리간의 각도.

반/디 용어집 lattice constant lattice parameter 기본․공통
고주파 플라즈마 CVD - high frequency plasma enhanced CVD

단차 피복성(step coverage)를 향상시키고 부착속도증대를 위해, 플라즈마의 밀도를 증가시킨 CVD. 플라즈마원으로써, ECR과 헬리콘파 등이 이용된다.

반/디 용어집 CVD 장치 웨이퍼처리공정
교차오염 - cross contaminat - ion

이온주입장치의 구성재료에 의한 오염. 웨이퍼의 지지재료 및 웨이퍼근방의 금속제 부품 등이 이온빔에 의해 스퍼터링되어 웨이퍼 안으로 들어가는 것 또는, 동일 장치 안에 일련의 다른 공정 사이에서, 각각의 공정에 사용되는 가스, 생성물이 다른 공정환경을 오염시키는 것. 클러스터툴(cluster tool)의 보급과 함께 증가되고 있다.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정
기압배율 보정계 - magnification correction system for atmospheric pressure

기압의 변화(공기의 굴절률의 변화)에 따라 변하는 투영렌즈의 배율을 보정하는 기구.

반/디 용어집 기압배율 보정계 magnification correction system for atmospheric pr
네거티브레지스트 - negative resist

빛, X선 또는 전자빔으로 노광하면 현상액이 중합(重合) 또는 가교(架橋)되어 굳어져, 현상 후까지 기판표면에 남는 특성을 가진 감광성 재료로써, 열특성과 내화학성이 뛰어나지만, 콘트래스트～1.5 정도이고, 현상시 현상액이 노광된 레지스트 사이에 끼어들어 패턴을 부풀리는 팽윤(swelling)현상으로 해상도가 2～3㎛로 낮아 팽윤현상이 없는 네거티브레지스트를 연구중이다.

반/디 용어집 기본․공통 네거티브레지스트
고주파유도 가열진공 증착장치 - induction heating evaporation system

증발재료에 고주파 유도전류를 유기시켜, 증발재료 스스로를 가열(加熱)시키는 진공증착장치. 이 방법은 전기적 유도재료에만 유효하고 절연체에는 적당하지 않지만, 하전입자에 의한 손상이 적다.

반/디 용어집 고주파유도 가열진공 증착장치 웨이퍼처리공정
글리치 - glitch

일반적으로, 신호에 포함되는 기대하지 않은 펄스 모양의 노이즈. 예를들면, D/A 컨버터에 있어서, 디지털 입력이 변화할 때, 아날로그출력으로 표현되는 펄스를 말한다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

노점계 이슬점계 - dew point meter

결합도 - grade

격자정수 - lattice constant lattice parameter

고주파 플라즈마 CVD - high frequency plasma enhanced CVD

교차오염 - cross contaminat - ion

기압배율 보정계 - magnification correction system for atmospheric pressure

네거티브레지스트 - negative resist

고주파유도 가열진공 증착장치 - induction heating evaporation system

글리치 - glitch

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