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다이나믹로드 프로그래머블로드 액티브로드 - dynamic load programm - able load active load

기능검사 중에, 피측정디바이스의 출력상태에 따라 부하조건을 변화시키 기능.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
다이나믹 클램프 - dynamic clamp

피측정디바이스의 출력인터페이스와 피측정디바이스장치의 핀일렉트로닉스의 임피던스의 차이로 인하여 발생하는 반사파형을 클램프(clamp)하는 기능.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
레이저발진 파장 - wavelength of laser oscillation

레이저가 발진하는 파장. Nd:YAG 레이저의 파장은 1.06㎛. 제2고조파(기본주파수 즉, 1.06㎛에 대하여 주파수가 2배인 레이저, second hamonic wave)와 제4고조파를 이용하는 것도 있다.

반/디 용어집 검사장치 wavelength of laser oscillation
디바이스 GND릴레이 - DUT ground relay

웨이퍼의 병렬동시측정 때, 각 피측정디바이스의 GND라인이 공통이기 때문에 발생하는 Vcc-GND 사이의 전위의 변화를 방지할 목적으로 설계된 테스터와 각 칩의 GND를 개폐하는 릴레이.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
대형액정 디스플레이용(用) 노광장치 - aligner for large liquid crystal display substrates

액정디스플레이 등의 대형유리기판에 노광하는 노광장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
긴급용배기처리장치 - exhaust gas abatement equipment for emergency

실린더캐비넷과 특수재료가스를 취급할 경우, 비상시 다량의 가스를 안전하게 처리하는 장치. 정상시에는 바이패스(bypass)배기하고, 비상시에는 긴급댐퍼 등을 동작시켜 제해(除害)장치로 처리한 후 배기한다.

반/디 용어집 가스 긴급용배기처리장치
데이터토폴로지 기능 데이터선점 기능 - data topological data scramble function

기억유지전하의 극성(+/-)가 셀마다 다른 메모리디바이스의 기억동작을 시험할 때, 이 물리 셀의 내용에 따라 논리검사 데이터의 극성(+/-)를 자동적으로 반전시키면서 시험하는 기능.

반/디 용어집 사공정 데이터토폴로지 기능 데이터선점 기능
그레이징 - grazing

패드 표면이 마찰로 인해, 마모되는 것. 일반적으로 패드를 연마할 때, 연마제가 흐르는 길이 줄어들어, 연마의 재현성에 악영향을 준다.

반/디 용어집 그레이징 웨이퍼처리공정
레티클회전 오차 - reticle rotation error

레티클정렬의 회전방향오차.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

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