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레티클홀더 마스크홀더 - reticle holder mask holder

레티클 또는 마스크를 웨이퍼 또는 광학계에 대하여 정해지는 위치로 유지하기 위한 지지구.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
대시넥 넥 - Dash's neck neck

종자결정에 존재하는 전위(轉位)가 전파되지 않도록, 결정을 가늘고 길게 성장시키는 방법. 가늘게 짜내어 전위를 결정표면으로 몰아넣고, 빠르게 인상(pull)시켜 인상되는 방향으로 전파되는 전위를 모두 절단한다.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
건식식각 장치 - dry etching

기상(氣象) 상태에서 웨이퍼 등을 식각하는 장치의 총칭. 감압 상태에서 활성가스 플라즈마를 이용하여 식각하는 경우가 많다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
광산란법 - light scattering

강한 빛을 쏘아, 부유미립자, 웨이퍼의 결함 및 부착미립자 등에서의 산란광을 수광소자와 광전관으로 감지하여, 전기적인 펄스로써 미립자 등의 갯수를 계측하는 방법.

반/디 용어집 검사 표면 결함․이물검출
마그네트론형 RIE장치 - magnetron enhanced reactive ion etching system

웨이퍼와 평행한 자계영역을 형성하는 자계 발생수단을 구비하고, 웨이퍼표면에 형성된 직교전자계에 의한 마그네트론방전을 이용하여 고밀도 플라즈마를 발생시켜 식각하는 반응성이온 식각장치.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
레지스트 내열성 - resist thermal stability

웨이퍼 위에 레지스트 패턴을 형성할 때, 이 패전의 단면 형상이 이후의 열에 의해 어느 정도 초기의 상태를 유지할 수 있는냐를 표시하는 것. “내열성이 좋다, 내열성이 있다, 내열성이 높다”하는 것으로 고온까지 패턴 형상이 보존된다는 것을 표시한다.

반/디 용어집 베이킹장치 resist thermal stability
디바이스 프로그램 테스트 프로그램 - device program test program

시험장치를 이용하여 디바이스시험을 하기 위하여 필요한 하드웨어의 설정 및 소프트웨어의 처리 등에 있어서의 장치고유의 언어로 만들어진 테스트 프로그램.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
도포장치 - coater

레지스트 처리장치 중에 웨이퍼에 레지스트를 도포하기 위한 장치. 처리방법은 스핀방식이 대표적이다.

반/디 용어집 coater 웨이퍼처리공정
디싱 - dishing

탄성연마포를 사용하여 연마하는 경우, 평탄화하려는 굴곡부분만이 아니라, 평탄한 부분도 연마 중에 제거되어 접시 모양의 웅덩이를 만드는 것.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 디싱

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

레티클홀더 마스크홀더 - reticle holder mask holder

대시넥 넥 - Dash's neck neck

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도포장치 - coater

디싱 - dishing

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