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공통결함 반복결함 - common defect repeat defect

기판 위에 같은 부분에서 같은 모양으로 반복하여 나타나는 결함

반/디 용어집 공통결함 반복결함 결함검사장치
냉각존 - cooling zone

다이본딩 후, 칩과 리드프레임과의 열 흡수의 차에 의한 칩크래(chip crack)을 방지하는 수단으로써, 완만하게 온도를 균배하여 냉각시키는 반송기구부의 일부.

반/디 용어집 냉각존 조립공정
3점기준 - three points

웨이퍼면 내에 지정된 3점에서 정해진 평면을 기준으로 하는 방법

반/디 용어집 three points 검사
노즐 - nozzle

레지스트와 현상액을 배출하는 선단(先端)부분. 스테인레스와 붕소 수지로 만들어져 있다. 용도에 의해, 서크백(suck back)특성향상을 위한 형상, 내경, 외경에 대한 연구가 이루어지고 있다.

반/디 용어집 노즐 웨이퍼처리공정
광전류법 P(H)C - photo - current method photo - conductance method

빛에너지를 제거하고, 트랩캐리어를 빛으로 여기시킬 때 발생하는 접합전류를 검출하는 방법. 벌크(bulk)에서 전도성이 변함으로써 검출되는 경우는 광전도법이라고 한다.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
눈금삽입 - separate feeding

리드프레임을 연속하여 반송할 때에 리드프레임의 사이에 일정한 간극을 두는 것.

반/디 용어집 조립공정 본딩
굵은선 - thick wire heavy wire

보통 직경이 100㎛이상 굵기인 본딩와이어. 초음파본딩에 이용되고 있는 알루미늄선을 말한다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
거울직진도 보정 - mirror bow compensation

레이저 간섭계를 이용한 측정기 등에서의 이동거울의 평면각도를 구해 측정기의 측정결과를 보정하는 것.

반/디 용어집 검사장치 거울직진도 보정
고풍속번인장치 - high wind velocity system

고발열의 디바이스를 번인하는 장치로서, 고풍속의 바람을 흘려서, 자기발열에 의한 디바이스의 자기파괴를 방지한다.

반/디 용어집 사공정 고풍속번인장치

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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냉각존 - cooling zone

3점기준 - three points

노즐 - nozzle

광전류법 P(H)C - photo - current method photo - conductance method

눈금삽입 - separate feeding

굵은선 - thick wire heavy wire

거울직진도 보정 - mirror bow compensation

고풍속번인장치 - high wind velocity system

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