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공기 장력 - air tension

와이어본딩에 있어서, 볼압착 모양의 안정을 위하여, 와이어에 대하여 장력을 부가하는 수단으로 공기를 이용한다. 루프 모양을 안정시키는 작용도 있다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
감시조 - monitor tank

폐수처리장치의 출주 전에, 처리수가 공공용수역 도는 하수도의 방류기준에 합격하는가를 측정 감시하기 위해 설치한 체류조

반/디 용어집 설비․환경공정 물
고전압 터미널 - high voltage terminal

이온에너지를 높이기 위해, 접지전위보다 높은 가속전압이 인가된 터미널. 후단가속방식을 채용하는 이온주입장치에 있어서는, 가스도입계, 이온원 및 질량분석계가 포함된다.

반/디 용어집 이온 주입장치 high voltage terminal
가스박스 - gas box

이온발생용 가스통(gas bottle)의 수납상자. 보통 3～4개의 가스통이 수납되어 있다. 각 가스라인은 가스통, 감압(減壓)밸브, 정지밸브(stop valve) 및 유량조절밸브 등으로 구성되어 있다. 독성가스를 사용하기 때문에, 국소적인 배기(排氣) 등의 가스누설에 대한 안전대책이 마련되어 있다.

반/디 용어집 이온 주입장치 gas box
경사조명 - oblique lighting

현미경 축상의 관찰시료에 대하여, 축 밖의 광원축을 갖는 시료를 조명하는 방법.

반/디 용어집 조립공정 기본․공통
광(光)기상 에피택셜 성장장치 - photo assisted vapor phase epitaxial growth system

열에너지에 빛에너지를 부과하여 기체분자와 웨이퍼표면을 활성화하여, 에피택셜성장을 하는 장치. 저온에서의 에피택셜성장이 가능하다는 것이 특징이다.

반/디 용어집 photo assisted vapor phase epitaxial growth system 광_光_기상 에피택셜 성장장치
결정 단결정 - crystal single crystal

원자 또는 분자가 일정한 주기로 배열되고, 공간격자를 형성하는 구조물. 결정전체에 걸쳐 주기가 유지된 것을 단결정이라고 하며, 일반적으로 결정이라 하면 단결정을 의히마는 경우가 대부분이다.

반/디 용어집 기본․공통 결정 단결정
3 - 레벨 드라이브 - three level drive

CCD 등의 이미지센서의 시험에 사용되는 드라이브형식으로, 로우, 미디엄, 하이 레벨의 세가지 레벨의 신호를 출력하는 기능.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
글로벌틸트 글로벌 레벌링 - global tilting global leveling

웨이퍼 전면을 한꺼번에 틸팅(tilting)하는 것. 주로 웨이퍼 전체에 테이퍼(taper)성분의 제거를 목적으로 한다.

반/디 용어집 global tilting global leveling 웨이퍼처리공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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광(光)기상 에피택셜 성장장치 - photo assisted vapor phase epitaxial growth system

결정 단결정 - crystal single crystal

3 - 레벨 드라이브 - three level drive

글로벌틸트 글로벌 레벌링 - global tilting global leveling

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