반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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다이아몬드외주도연마기 - diamond blade

금속원판 바깥면에 다이아몬드입자를 접착시킨 연마기. 실리콘 잉곳의 노치(notch) 가공 등에 사용된다.

반/디 용어집 기계가공 절단장치-하드기능
매핑(mapping)장치 - wafer scanner

웨이퍼가 다이로 분할되어 있는 상태에서, 인식장치를 이용하여 양품, 불량품을 한 개씩 판별하여, 이 분포위치를 메모리 또는 플로피디스키 등에 기억시키는 장치.

반/디 용어집 조립공정 본딩
광여기발광법 PL - photolumin - escence method

레이저 등의 빛을 조사하여 여기된 전자가 재결합할 때에 방출되는 빛을 광분석하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
기상 에피택셜 성장장치 - vapor phase epitaxial growth system

고온기상 중에서의 화학반응을 이용하여 웨이퍼 위에 실리콘, 화합물반도체 등의 단결정층을 성장시키는 장치. 상압기상에피택셜성장장치, 저압기상에피택셜성장장치, 유기금속기상에피택셜성장장치, 광기상에피택셜성장장치 등으로 구분된다.

반/디 용어집 에피택셜 성장장치 웨이퍼처리공정
기계적 (메카니컬)척 - mechanical chuck

갈고리, 링 등을 이용하여, 웨이퍼 바깥부분을 기계적으로 지지, 증착하는 척

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
결함허보율 - false defection rate

검사장치가 검출한 의사결함검출수와 총검출결함수의 비율

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
광학식농도계 OD - optical densitomet - er OD

필터를 삽입한 박막을 투과한 빛을 포토 멀티플라이어(photo multiplier)로 받아, 광학농도를 측정하는 장치. 입사광 Io, 투과광 I1 라고 할 때의 광학농도(OD)는 log Io/I1로 표시된다.

반/디 용어집 검사장치 마스크 블랭크 제조
그루브롤러 메인 롤러 - grooved roller main roller

와이어를 필요한 피치로 끌어당기기 위해 수십～수백 개의 홈을 설치한 롤러. 내마모성 재질로 만들어진다. 보통 와이어톱받침대에 2～4개를 사용한다.

반/디 용어집 기계가공 절단장치-하드기능
공기가압방식 - air pressure type

마운트판의 가압방식 중에서 공기압을 이용한 에어실린더를 사용하여 탑링(top ring) 위에 하중을 가하는 방식. (주기적으로 탑링의 하중을 경감하는 방식으로 에어실린더를 작용시키는 감압방식도 있다.)

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

다이아몬드외주도연마기 - diamond blade

매핑(mapping)장치 - wafer scanner

광여기발광법 PL - photolumin - escence method

기상 에피택셜 성장장치 - vapor phase epitaxial growth system

기계적 (메카니컬)척 - mechanical chuck

결함허보율 - false defection rate

광학식농도계 OD - optical densitomet - er OD

그루브롤러 메인 롤러 - grooved roller main roller

공기가압방식 - air pressure type

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