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도너소거 도너킬러 - donor annihilation donor killer

Si 잉곳 또는 웨이퍼를 650℃ 전후의 온도에서 단시간(0.5～1.5시간) 열처리 후, 450℃ 전후의 온도영역을 급속하게 냉각함으로써, 산소도너를 없애는 방법.

반/디 용어집 열처리용어 웨이퍼제공정
레이저파워 - laser power

레이저출력. 펄스발진의 레이저는 joule/pulse로, 연속발진의 레이저는 와트(watt)로 나타낸다. 펄스의 경우, 반복 주파수를 걸어주어 와트로 표시하는 것도 있다.

반/디 용어집 조립공정 마킹
단면폴리싱기 - single side polishing machine

마운트판이라 불리우는 원판에 웨이퍼를 고정시키고 연마포를 부착한 회전정반에 압착시켜 연마하는 장치. 호칭으로서 연마정반의 직경을 인치로 표시하는 것과 마운트판의 직경을 표시하는 것이 있다.

반/디 용어집 단면폴리싱기 웨이퍼제공정
결함밀도 - defect density

패턴작성 공정에서 발생하는 결함의 단위 면적당 수

반/디 용어집 기본․공통 defect density
간섭필터 간섭렌즈 - interference lens

g선, i선 등 노광에 필요한 파장의 빛을 추출하는 렌즈

반/디 용어집 interference lens 웨이퍼처리공정
마스킹 블레이드 레티클 블라인드 - masking blade reticle blind

레티클패턴의 노광범위 바깥을 덮는 차광막.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
마운트판 탑플레이트 블록 캐리어플레이트 - mount plate top plate block carrier plate

웨이퍼를 부착하기 위한 원판. 화학적으로 침투되지 않는 재질로 경년변화(aging, 시간이 지나면서 변하는 것), 하중에 대한 변화가 작은 것이 사용된다.(예, 세라믹스와 유리 등)

반/디 용어집 웨이퍼제공정 mount plate top plate block carrier plate
긴급차단밸브 - emergency stop valve

가스의 누설을 가스검지기가 감지할 경우, 실린더캐비넷과 가스공급제어장치에 설치된 본밸브를 개폐하여, 가스의 공급을 정지시키는 밸브.

반/디 용어집 설비․환경공정 약품
기류가시화 - airflow visualization

택트, 순수미스트(mist) 등을 이용하여, 청정실내의 공기의 움직임을 관찰할 수 있는 것, 또는 관찰가능한 상태. 수직일방향류형 청정실의 기류조정, 제조장치의 모양 또는 배치결정 등에 이용된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

도너소거 도너킬러 - donor annihilation donor killer

레이저파워 - laser power

단면폴리싱기 - single side polishing machine

결함밀도 - defect density

간섭필터 간섭렌즈 - interference lens

마스킹 블레이드 레티클 블라인드 - masking blade reticle blind

마운트판 탑플레이트 블록 캐리어플레이트 - mount plate top plate block carrier plate

긴급차단밸브 - emergency stop valve

기류가시화 - airflow visualization

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