반디통 용어집

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오퍼레이션 박스 - operation box

시험의 개시, 정지, 또는 측정 중의 동작상태를 보여주는 표시기능과, 조작 스위치군(群)으로 구성된 조작상자.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
인장강도 - pull strength

인장테스트(pull test)에 의한 측정강도.

반/디 용어집 조립공정 본딩
유량측정기 매스플로우미터 MFM - mass flow meter

가스의 유량을 전기적으로 계측하는 장치. 금속성모세관의 외측에 말려진 2개의 자기발열저항체 사이에, 유체가스의 질량유량에 대응하여 발생하는 온도차를, 전기값으로 검지한다. 압력손실이 적고, 정밀도가 높다. 제어밸브 및 전기회로와 조합하면 반도체제조용가스의 공급을 자동적으로 제어하는 유량제어기(MFC)를 구성할 수 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 약품
용융체 멜트 - melt

열에 의해 고체에서 액체로 변한 상태.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
외형 치수 - outer dimension

기판의 폭․길이․두께․평행도․면의 상태․직각도․각의 형태 등의 형상 치수. 예를 들면, 폭이 5인치, 두께가 0.09인치인 것은 5009라고 호칭한다.

반/디 용어집 마스크 블랭크 제조 마스크제조공정
음극결합 - cathode coupling

한 쌍의 전극에서, 웨이퍼가 설치된 전극에 고주파를 인가하고, 다른 쪽의 전극을 접지전위로 하는 것.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
워크홀더 - work holder

워크의 위치를 결정하여 고정시키는 스테이지. 반송기구 전체를 가리키는 경우도 있다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
웨이퍼틸트 웨이퍼 레벨링 - wafer tilting wafer leveling

노광할 때에 명료한(sharp) 상을 얻는 평면을 결상면(結像面)이라고 부르고, 이 투영렌즈의 결상면과 웨이퍼 윗면을 평행하게 하기 위한 기능. 이것의 한 예로 다음과 같다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
의사결함 - false defect

본래 패턴의 결함이 아닌데, 검사장치에 이상이 있어 결함이라고 판단되는 것.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

탄성계수 - elastic modulus

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

오퍼레이션 박스 - operation box

인장강도 - pull strength

유량측정기 매스플로우미터 MFM - mass flow meter

용융체 멜트 - melt

외형 치수 - outer dimension

음극결합 - cathode coupling

워크홀더 - work holder

웨이퍼틸트 웨이퍼 레벨링 - wafer tilting wafer leveling

의사결함 - false defect