챔버의 윗부분에 달린 결정수납봉투와의 접속개구부 사이에 설치하여 필요에 따라 두 개를 분리하는 기밀 밸브.
반/디 용어집웨이퍼제공정단결정제조
납 본딩 - solder bonding
리트프레임과 패키지에 다이를 결합시키는 결합재료로서, 납을 이용하는 본딩방식.
반/디 용어집조립공정본딩
두께변화 - thickness variation
웨이퍼면내에서의 두께변화.
반/디 용어집검사웨이퍼제공정
단열판 - heat insulation plate
성형금형에서 방열 및 열전달을 막기 위해 금형 안에 들어가 있는 열전달성이 낮은 플레이트.
반/디 용어집패키지조립공정
램프 CVD장치 - ultraviolet lamp heating system
램프광원장치과, 웨이퍼 가열용 히터를 내장한 반응실로 구성된 CVD장치. 램프광원에는 자외선(200~300nm)와 진공자외선(200nm)의 파장범위를 발생하는 램프를 이용한다. 반응분자의 광분해, 즉 분자의 포텐셜에너지가 자외선을 흡수하고 전자 여기상태로 상승한 후 분해된 것을 이용한다.
반/디 용어집CVD 장치웨이퍼처리공정
마스크비교기 - mask comparator
좌표마스크와 검사하려는 마스크를 직접 비교하여 마스크의 패턴결함 및 패턴 정밀도를 검사하는 장치.
반/디 용어집검사장치마스크제조공정
동적기능검사 - dynamic functional test
시간적으로 변화하는 논리신호를 패턴발생기에서 피측정디바이스에 입력시켜, 이것의 출력특성 및 시간축 특성을 평가하는 시험.
반/디 용어집기본․공통사공정
댄서롤러 - dancer roller
와이어톱에 있어서, 와이어는 스펠링 등으로 잡아당기고, 와이어중간에 여유를 주기 위해 설치된 롤러.
반/디 용어집기계가공절단장치-하드기능
디플래시장치 - deflasher
몰딩고정에서 발생하는 피드플레임면의 수지 플래시(burr)와, 레진컷(resin cut)후의 레진찌꺼기를 제거하는 장치의 총칭.