반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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듀얼컷 - dual cut

주축 스핀들이 두 개 있으며, 각각의 축으로 블레이드가 장착되어 같이 구동할 때, 2라인을 동시에 절삭할 수 있는 절삭방법. 보통 스텝컷, 베벨컷에 사용되며 치핑을 줄일 수 있다.

반/디 용어집 조립공정 dual cut
매엽식묘화 - single wafer processing

기판을 한 개씩 순서대로 묘화하는 것.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
가압매입 - force fill process

비아홀, 콘택홀에 스퍼터링법 등으로 Al배선을 할 때 발생되는 보이드(void)를 가열상태에서 Ar가스 등으로 압력을 주어 매입하는 방법.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
내압형인라인전기전도도계 - in - line type electrical conductivity meter (withstanding high pressure)

상온상압하에서 가스상태의 물질을 가압액화시켜, 그것의 전기전도도를 연속적으로 모니터하는 계기. 액화가스의 물성평가와 액화가스중의 불순물계측에 이용한다. 전기전도도셀의 내압은 80kg/㎠이고, 비유전률이 8이하의 액체까지 계측할 수 있다.

반/디 용어집 가스 in-line type electrical conductivity meter
가동률 - availability

계획된 운전시간과 정상적으로 운전한 시간의 비율

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
고립결함 - isolated defect

패턴의 에지부분에서 떨어져 패턴 내에 존재하는 빔홀(beam hole)결함 및 패턴에서 떨어져 존재하는 핀스폿(pin spot)결함을 뜻함.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
거친 연삭 - coarse grinding

선택된 면을 거친 연삭와 정밀연삭을 할 경우, 거친 숫돌로 연삭하는 것을 말한다.

반/디 용어집 기계가공 coarse grinding
마그네트론 방전 - magnetron discharge

진공 중의 직교전자계에 있어서, 전자가 음극 위에 토로이드(toroid)운동하는 것으로 음극근처의 공간에 고밀도의 플라즈마를 발생시키는 것.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
로더 - loader

워크를 원하는 위치에 올려 놓거나, 장전하는 기구

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정

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