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다단계어닐 - multi step annealing

어닐 중에 온도를 높이거나 낮추는 처리방법. 확산층과 금속막 중에 확산되는 종류의 분포와 결합을 원하는 상태로 이끌 수 있다.

반/디 용어집 어닐장치 웨이퍼처리공정
냉증발기 - cold evaporation

N2, O2 등의 액화가스를 저온가압의 상태에서 대량으로 저장하여, 소비량에 대응하는 일정압력으로 자동공급하는 장치. 액화가스증발기, 압력조정기, 극저온밸브, 보전용안전장치 등으로 구성된다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
각도분해오제전자분광법 ARAES - angle - resolved Auger electron spectro - scopy

시료표면에서의 방사각을 파라메터로 이용하여 오제분광신호강도를측정하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
공정 유도입자 계수기 - process induced particle counter

엄격한 시료기체 누설방지장치를 갖고 있으며, 가스가 통하는 파이프 내벽의 잔류불순물을 충분히 제거하는 광산란입자 계수기. 반도체소자제조에 이용되는 원료가스 그리고, CVD, 이온투입 장치 등 압력이 낮은 챔버 내의 부유미립자를 감시한다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
루프 - loop wire loop

2점간을 접속할 때, 활 모양으로 형성된 본딩와이어.

반/디 용어집 조립공정 본딩
대기압이온화질량분석계 - atmospheric pressure ionization mass spectrometer

N2, Ar 혹은 H2 중의 미량불순물성분을 분석하는 계기. 대기압하에서 이온화하는 것에 의해 미량불순물의 이온화효율을 향상시켜, 발생한 이온을 질량분석법에 의해 검출하는 방식이다. ppt 레벨의 검출이 가능하다. 모노실란 등의 특수재료가스 중의 미량불순물의 분석에도 적용할 수 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
레이저현미경 - laser microscope

레이저광을 시료에 쏘아, 이 반사광을 검출하고, 이차원․ 삼차원적으로 화상을 구축, 해석하여 CRT 위에 표시하는 광학현미경.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
내측리드본딩 - inner lead bonding

내측리드본더로 접합하는 방식.

반/디 용어집 조립공정 본딩
계장 래크 - instrument - ation rack

번인제어기, 피측정디바이스전원 등이 부착되어 있으며, 챔버와 전기적인 접속이 가능한 래크. 챔버와 일체형 또는 분리형이 있다.

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