반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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냉온벽 - cold wall

CVD장치에 있어서, 반응실에 내장된 히터와 램프에서 방사되는 열과 고주파가열로 웨이퍼를 가열하는 방법. 반응실 벽의 온도가 고온이 되지 않기 때문에, 고온벽(hot wall)에 대비하여 냉온벽이라 부른다.

반/디 용어집 CVD 장치 웨이퍼처리공정
멀티 다이 레티클 - multi - die reticle

스테퍼의 쓰루풋(throughput)을 향상시키는 것을 목적으로, 다이(팁tip)를 여러 면 붙인 레티클. 붙이는 면의 수는 1샷(shot)의 노광범위에 한정된다. 이것과 대비하여 다이를 1개만 붙인 것을 싱글 다이 레티클(single die reticle)이라 한다.

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정
납봉지장치 - solder sealing equipment

패키지의 덮개를 납을 이용하여 밀봉하는 장치. 납으로 금, 은, 동 등의 합금이 산화되는 것을 막기 위해, 환원성 분위기 중에 가열하여 덮개를 녹여 붙인다. 일반적으로 전기로가 이용된다.

반/디 용어집 패키지 조립공정
리드성형 - lead forming

IC 패키지의 리드를 PC기판의 표면에 실장(實裝)하거나 단자대에 삽입한 형상으로 성형하는 것. 롤러와 포밍(forming)팬치에 의해 Z․J․U 등 구부림(bending)형상을 제작한다. 롤러구부림, 섹터포밍(cam forming), 컬링(curling) 등의 성형방법이 있다.

반/디 용어집 조립공정 마무리
광여기(勵起)애싱장치 - photo excited ashing system

애싱실 안에 반응성가스를 도입하여, 자외선 등의 빛을 가스 또는 웨이퍼로 조사하여, 반응성가스와 레지스트와의 화학반응을 촉진시키면서 애싱하는 장치.

반/디 용어집 애싱장치 웨이퍼처리공정
막두께검사 - film thickness inspection

차광막과 반사 방지막 또는 레지스트막 등의 두께를 광학식 또는 접촉침 방식으로 측정하는 것. 보통, 기준치와의 비교에 의해 행해진다.

반/디 용어집 마스크 블랭크 제조 마스크제조공정
다치화인식 이치화인식 - gray scale pattern recognition binary scale pattern recognition

설정된 레벨보다 밝은가 어두운가의 2가지의 값으로 인식처리하는 것을 이치화인식이라고하고, 설정레벨을 복수개로하여 중간색도 처리하는 것을 다치화인식이라고 하는데, 보통은 256단계의 다치화인식이 일반적임

반/디 용어집 조립공정 기본․공통
동적번인장치 - dynamic burn - in system

반도체소자를 항온에서, 정격 또는 정격이상의 전원전압을 인가하여, 디바이스의 입력회로에 실제 동작에 가까운 신호를 인가하면서 스크리닝하는 장치.

반/디 용어집 사공정 에싱
가변성형 빔 - variable shaped beam

한다발로 묶인 빔의 단면을 정사각형으로 가공하여, 이것의 가공치수를 샷(shot)마다 변화시킬 수 있는 빔.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정

기술용어통 처음으로

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

좌굴 - buckling

감쇠비 - damping ratio

CFL수 - Courant - Friedrichs...

마찰계수 - friction coefficient

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

프란틀 수 - Prandtl number

응력 - 변형률 선도 - stress -...

냉온벽 - cold wall

멀티 다이 레티클 - multi - die reticle

납봉지장치 - solder sealing equipment

리드성형 - lead forming

광여기(勵起)애싱장치 - photo excited ashing system

막두께검사 - film thickness inspection

다치화인식 이치화인식 - gray scale pattern recognition binary scale pattern recognition

동적번인장치 - dynamic burn - in system

가변성형 빔 - variable shaped beam

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!

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