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누액센서 - liquid spill sensor

세정장치와 식각장치의 탱크․배관계에서 약액과 세정수 등이 누설되는가를 감지하는 센서. 보통, 약액이 누설되면 정전용량이 변화하여 검지하는 센서가 사용된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
리드가공기 - trim and forming machine cut and bending machine

리드가공의 금형을 사용하여 밀봉한 리드프레임을 절단․성형하여 리드를 가공하는 장치. 레진, 타이바(tiebar)기는 레진컷과 타이바컷을 하는 전용장치. 리드성형(lead forming)기는 리드의 구부림성형을 하는 전용장치.

반/디 용어집 조립공정 마무리
레이저출력 안정도 - laser output stability

레이저발진기에서의 일련의 펄스출력의 첨두값(pick value)이, 일정 시간에 어느정도 변하는가를 나타내는 정도.

반/디 용어집 사공정 레이저리페어 장치
러너 - runner

몰딩성형용 금형에서 캐비티에 용융재료를 유입시키는 경로 중에서, 컬(cull)에서 게이트에 이르는 부분 및 그곳에서 굳은 재료.

반/디 용어집 패키지 조립공정
레지스트상 - resist image

레지스트 위에 노광․현상에 의해 형성된 레지스트 패턴 상

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정
듀얼 ALPG - dual ALPG

두 개의 식의 알고리즘패턴발생기를 탑재한 것.

반/디 용어집 사공정 디버그
다조침적식 세정장치 - multibath wet cleaning equipment

여러 수조를 나열하고, 세정물을 순차적으로 바꿔가며 침적시킬 수 있는 수조

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
마더마스크형 마커 - mother mask type maker

원하는 모든 글자를 음각해 놓은 마스크를 마더마스크라고 하며, 이를 이용하여 마킹한다. 보통 두 세트의 X-Y 갈바노미터 스캐너가 설치되며, 하나는 마더마스크 앞에서 마킹하기를 원하는 글자를 선택하고, 다른 하나는 마더마스크 뒤에서 마킹하고자 하는 부분을 선택한다.

반/디 용어집 조립공정 마킹
노광묘화장치 - pattern exposure system

가시광선과 적외선 또는 전자빔을 이용해, 마스크 블랭크 위에 원화패턴을 묘화하는 장치인데, 패턴 제너레이터․콘택트 프린터․포토리미터․전자빔 묘화장치․레이저 묘화장치 등이 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정

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마더마스크형 마커 - mother mask type maker

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