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도파관 분석관 - wave guide analyzing chamber

질량분석계에 있어서, 이온빔이 통과하기 위한 진공챔버. 불필요한 빔의 충돌에 의해 챔버의 내벽이 부식되는 것을 방지하기 위한 보호판이 설치되어 있는 것이 많다.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정
다이싱 톱 다이서 - dicing saw dicer

고속회전하는 스핀들의 앞 끝에 부착된 극도로 얇은 외주형 칼을 이용하여, 웨이퍼의 스트리트(street)를 절삭 또는 홈을 가공하는 장치.

반/디 용어집 조립공정 다이싱
리드로케이터 - lead locator

와이어본더에 있어서, 패키지의 외부인출용 단자의 본더 위치를 패턴방식에 의해 검출하는 기능.

반/디 용어집 조립공정 본딩
리던던트 메모리 리페어시스템 - redundant memory repair system

반도체 웨이퍼 위에 형성된 LSI, VLSI 등의 칩의 불량을 구제하기 위하여, 각 칩의 필요한 곳에 레이저빔을 자동적으로 조사하여, 칩 내에 미리 만들어wu 있는 불량구제용 용장(redundant)회로를 접속가능하도록 하는 장치.

반/디 용어집 사공정 레이저리페어 장치
러더퍼드후광산란분광법 RBS - Rutherford back - scattering method

MeV 영역의 높은 에너지이온을 시료표면에 조사하고 후광산란된 이온의 에너지스펙트럼을 측정하여, 표면에서의 깊이의 함수로써 여러 가지 원소의 농도를 결정하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
다이나믹 포커스 - dynamic focusing

편향기로 전자빔을 편향할 때, 편향량이 증대되면서 초점의 위치가 광축에 수직인 평면에서 이탈하게 된다. 이런 부정합을 보정하기 위해, 편향신호의 크기에 따라 포커스를 보정하는 것.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
기류평행성 - airflow parallelism

일방향류형 청정실에 있어서, 일방향류를 형성하는 공기류의 직선성 및 평행성. 수직일방향류 청정실에서 서브라인 또는 리턴챔버내에서의 압력손실이 클 경우, 기류가 한쪽으로 흘러(편류), 일방향류를 얻을 수 없다. 일반적으로, 기류편류각은 14。이내에서 조정된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
루프높이 - loop height

2점간을 와이어로 접속할 때, 와이어는 활 모양을 그리는데, 이 때 활의 최고점과 본딩면과 면에서의 높이.

반/디 용어집 조립공정 본딩
도가니이동스트로크 - crucible lift travel

도가니의 이동가능거리. 단위는 (㎝) 또는 (㎜)로 표시한다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

좌굴 - buckling

감쇠비 - damping ratio

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마찰계수 - friction coefficient

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