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루프제어 - loop control

와이어본더에 있어서 루프모양을 결정하기 위하여 필요한 각종 파라메터의 제어를 말한다. 예를들면, 리버스모션을 들 수 있다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
디프로스터 - defroster

냉각된 디바이스와 반송치구 등에 서리(frost)가 맺히는 것을 방지하는 기구.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
리프식콘택트 - leaf type contact

판 모양의 접촉자를 절연재료에 기계적으로 지지하고, 이 접촉자를 기계적 동작으로 피측정디바이스에 접촉시키는 방식.

반/디 용어집 사공정 핸들링
마스크이물 검사장치 - mask contamination inspection system

빛의 투과 또는 산란, 반사 등을 이용하여 마스크 위의 이물과 흠, 결함 등을 검사하는 장치. 대상시료에 따라, 레티클 이물검사장치라고도 한다. 또, 패터닝 전의 마스크 시료와 패터닝 후의 시료에 의해 장치가 다른 경우도 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
디스펜서 노즐 - dispenser nozzle

접합용 수지를 넣은 용기(시린지)의 앞 끝에 장착하는 통모양의 입구. 배출량을 제어하기 위하여 직경을 변화시키는 것도 있다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
리시버 - receiver

처리 후의 마스크, 웨이퍼 등의 기판을 수납하는 카세트를 탑재하고 있으며, 기판을 처리장치로부터 받는 장치

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
마이크로파 플라즈마 CVD장치 - microwave plasma enhanced CVD system

마이크로파 도파관과 플라즈마발생용 가스 주입구를 갖고 있으며, 마이크로파로 여기(excitation)되는 플라즈마방전실로 구성된 플라즈마 CVD장치. 마이크로파에 의해 발생하는 플라즈마 흐름의 밑부분에 반응가스를 주입하고, 히터를 내장한 서셉터 위에서 저온으로 박막을 형성한다. 플라즈마방전장치에 직접반응가스를 주입하는 방법도 있다.

반/디 용어집 CVD 장치 웨이퍼처리공정
드레싱 - dressing

휠차의 연삭성능을 개선할 목적으로 실시되는 날세우기.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
디지털헤드 - digital head

, , 축 및 축을 수치제어방식으로 구동하는 본딩헤드.

반/디 용어집 조립공정 본딩

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드레싱 - dressing

디지털헤드 - digital head

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