반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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유틸리티 박스 - utility box

본체외부에 설치되며, 장치에 공급되는 전기, 가스, 냉각수 등의 제어기기를 내장한 박스.

반/디 용어집 산화장치 웨이퍼처리공정
익스터널게터링 외부게터링 EG - external gettering extrinsic gettering

Si 웨이퍼의 이면에 폴리싱으로 생긴 가공파괴층, 폴리실리콘의 코팅 등으로 생긴 왜곡층, 링거스층 등 Si 웨이퍼를 외부에서 만들어진 결함과 왜곡 등을 이용하여, 오염불순물과 점결함 등의 포획하는 게터링방법.

반/디 용어집 열처리용어 웨이퍼제공정
음이온교환수지 - anion exchanger resin

수중에 존재하는 음이온(Cl-, SO42-, SiO2 등)을 흡착제거하는 이온교환수지. 음이온을 흡착하는 힘이 강한 강산성양이온교환수지와, 흡착하는 힘이 약한 약산성양이온교환수지의 두 종류가 있다. 또 다공(porous)형, 겔형의 2종류가 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
오버플로우 린스 - overflow rinse

물의 흐름이 워크의 위 방향에서 아래 방향으로 흘러, 평균적으로 수조의 윗면에서 흘러넘치는 순수세정방식.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
와이어장력 - wire tension

본딩할 때에 와이어를 내보내는 양을 조정하기 위해 와이어에 가해지는 장력.

반/디 용어집 조립공정 본딩
자기부상 반송 - magnetic levitation transfer

자기(磁氣)반발력을 이용한 비접촉반송기구. 자기부상을 제어하는 제어전자석 및 선형 모터와 부상체(浮上體)로 구성되며, 마스크, 웨이퍼 등의 기판은 부상체 위에 탑재되어 이동된다. 진공중에서 사용할 경우, 비접촉이고, 접어서 사용하지 않으며, 윤활유도 필요없어 먼지가 전혀 발생하지 않아, 더스트프리(dust free)반송, 청정진공(clean vacuum)을 얻는 등의 큰 이점이 있다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
인터널게터링 내부게터링 IG - internal gettering intrinsic gettering

Si 웨이퍼의 내부에 분포된 고밀도의 미소결함을, 오염불순물과 점결함 등을 포획하는 거점으로써 이용하는 게터링방법.

반/디 용어집 열처리용어 웨이퍼제공정
연삭휠 - grinding wheel

연삭재와 결합재로 이루어진 연삭공구.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
연마헤드강제구동기구 - top ring forced drive

탑링을 강제적으로 추종회전방향으로 회전시키는 기구.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱장치-성능․정밀도

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

유틸리티 박스 - utility box

익스터널게터링 외부게터링 EG - external gettering extrinsic gettering

음이온교환수지 - anion exchanger resin

오버플로우 린스 - overflow rinse

와이어장력 - wire tension

자기부상 반송 - magnetic levitation transfer

인터널게터링 내부게터링 IG - internal gettering intrinsic gettering

연삭휠 - grinding wheel

연마헤드강제구동기구 - top ring forced drive

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