반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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정전용량방식 - capacitive sensing method

측정하려는 물체와 센서전극간의 정전용량의 변화량을 검출하여, 이 물체의 두께, 평탄도, 휨를 측정하는 방법.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
적외선오븐 - IR oven

가열원으로써, 적외선 히터, 적외선램프를 배치하여 가열하는 장치.

반/디 용어집 베이킹장치 웨이퍼처리공정
챔버제어기 - chamber controller

항온조(恒溫槽)의 온도제어, 온도계측, 온도이상과 챔버의 트래블 등을 모니터하는 챔버의 제어기.

반/디 용어집 사공정 에싱
전단가속 방식 - preacceler - ation system

이온원에서 인출된 이온빔으로, 질량분석계 전에 필요한 가속에너지를 공급해주고, 질량분석을 한 후에 타겟에 이온주입하는 방식.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑
클러스터 - cluster

액체로써의 물이, 물분자 단독의 집합체는 아니고, 물분자끼리 수소결합에 의해, (H2O)n에 의한 회합체를 형성하는 상태.

반/디 용어집 사공정 신뢰성 검사
폐수처리장치 - waste water treatment system

공장의 유즈포인트(사용장소)에서 배출하는 배수의 경우, 공장밖으로 방출하는 폐수중의 유해물질, 오염물질 등을 처리하기 위한 장치.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
파팅라인 - parting line

상형과 하형을 맞출 때의 기준이 되는 분할선.

반/디 용어집 패키지 조립공정
포매터 - formatter

패턴 발생기가 만들어내는 논리데이터와 타이밍 발생기가 만들어내는 타이밍을 합성하여, 피측정디바이스에 인가하는 시험파형을 만들어내는 기능.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
클린락커 - clean locker

방진복을 넣어 놓는 락커. 내부는 HEPA필터를 통과시킨 청정공기가 순환하여 높은 청정도를 유지하고 있다. 자외선살균등을 설치한 것도 있다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

정전용량방식 - capacitive sensing method

적외선오븐 - IR oven

챔버제어기 - chamber controller

전단가속 방식 - preacceler - ation system

클러스터 - cluster

폐수처리장치 - waste water treatment system

파팅라인 - parting line

포매터 - formatter

클린락커 - clean locker

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