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CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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CMP폐수처리장치 - CMP waste water treatment equipment

CMP 프로세스로부터 발생하는 미세입자를 포함하는 폐수를 처리하는 장치. 크게 산화막공정계와 금속배선공정계의 2종류가 있으며, 응집침전과 막분리 등의 방법이 이용되고 있다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정
태블릿 - tablet

열경화성수지를 쉽게 취급할수 있도록, 일정량을 원기둥 모양으로 압축시켜 굳힌 재료.

반/디 용어집 패키지 조립공정
평면원통복합연삭반 - surface and cylindrical double head grinding machine

2축 또는 3축의 휠축을 가진 평면과 원통면 연삭가능한 NC자동연삭반. 노치(notch)가공용 휠을 병용하여 외주면의 노치면삭가공을 할 수도 있다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
ATE - automatic test equipment

반도체 및 전자부품이 실장된 보드(board)를 테스트하는 자동검사장치.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
플래쉬 - flash

광학식 패턴 제너레이터의 가변식 대형 개구(aperture)를 통하여 광원이 발생시키는 섬광. 도형의 규모를 추측하는 것을 목적으로, 원하는 패턴을 묘화하는 경우의 플래쉬 수를 이용한다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
진동픽업 - vibration pickup

측정대상물에 부착되어 발생하는 진동을 전기적인 신호로 변환하는 소자. 압전형(壓電形), 전자형(電磁形), 저항선왜곡게이지 등이 있다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
주사식 투영 노광장치 - scanning projection aligner

마스크패턴의 일부를 투영광학계를 이용하여, 웨이퍼에 투영하고, 마스크와 웨이퍼를 동기주사하여 마스크패턴 전체를 웨이퍼에 노광하는 노광장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
퍼지모드장착실리더밸브 - cylinder valve with purge mode

퍼지밸브를 동일 밸브안으로 집적화시킨 실린더넥 밸브. 체류부가 없기 때문에 가스의 치환특성이 우수하다. 실린더교환시에 잔류하는 특수재료가스를 완전하게 저게할 수 있기 때문에, 안전에서도 우수하다.

반/디 용어집 설비․환경공정 약품
펠리클 검사장치 - pellicle inspection system

빛의 투과 또는 산란, 반사 등을 이용하여 펠리클 위의 이물 또는 결함을 검사하는 장치. 이 기능이 부가된 마스크 이물검사장치도 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

CMP폐수처리장치 - CMP waste water treatment equipment

태블릿 - tablet

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플래쉬 - flash

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퍼지모드장착실리더밸브 - cylinder valve with purge mode

펠리클 검사장치 - pellicle inspection system

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