반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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반도체 / 디스플레이 공정 및 장비 관련 용어를 확인해 보세요.

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태양치차 태양기어 선기어 - sun gear

정반의 중심에 위치하는 바깥톱니 치차(外齒齒車).

반/디 용어집 웨이퍼제공정 래핑장치-하드기능
펠리클첨부 장치 - pellicle mount system

펠리클을 미리 결정된 마스크 또는 레티클의 위치에 붙이기 위한 장치.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
클린벤치 청정작업대 - clean bench clean work station

규정된 청정도레벨로 관리된 공기가, 작업대상물에 대하여 직접 흘러들어 작업이 실시되는 작업대. 작업대는 ULPA필터, 프리필터, 역풍기 등의 청정공기공급원을 내장하고 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
TTL 자동 포커스 - through - the - lens auto focus

투영광학계를 매개로 실시하는 자동포커스.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
TMP - tester manage - ment processor

테스트시스템의 테스트 프로그램 작성. 테스트결과의 수집. 처리 등을 주로 실시하는 관리용 프로세서.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
토탈방식면가공 - form chamfering

휠의 모양을 웨이퍼와 동일하게 만들어 연삭하는 방식. 위아래의 면가공과 바깥둘레의 연삭을 동시에 실시한다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
코제너레이션 - cogeneration

석유왁 가스를 연료로 하고, 디젤엔진, 가스터빈, 증기터빈 등을 이용하여 동력과 전력을 변환하여, 그 배기를 냉난방, 급탕 등의 열에너지로 이용하여, 연료를 효율적으로 사용하는 것이 기본적으로 고려된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
MOCVD 장치 (유기금속 CVD장치) - metal organic CVD system

유기금속화합물의 열분해반응을 이용하여 화합물 반도체막을 만드는 CVD장치. 기상 에피택셜성장법에 의해 화합물 반도체단결정을 성장시키는 MOVPE장치와는 구별되지만, 장치의 구성에는 유사한 점이 많다.

반/디 용어집 CVD 장치 웨이퍼처리공정
평행평판형 RIE장치 - parallel plate reactive ion etching system

식각실내에 마주보는 한 쌍의 평행평판형 전극을 구비하고, 한 쪽 방향의 전극에 고주파를 인가하고, 다른 한 쪽 전극을 접지전위로 하여, 어떤 한 쪽 전극 위에 웨이퍼를 놓고 식각하는 반응성이온 식각장치.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

태양치차 태양기어 선기어 - sun gear

펠리클첨부 장치 - pellicle mount system

클린벤치 청정작업대 - clean bench clean work station

TTL 자동 포커스 - through - the - lens auto focus

TMP - tester manage - ment processor

토탈방식면가공 - form chamfering

코제너레이션 - cogeneration

MOCVD 장치 (유기금속 CVD장치) - metal organic CVD system

평행평판형 RIE장치 - parallel plate reactive ion etching system

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!