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온습도검출기 - temperature and humidity sensor

온도와 습도를 전기신호로써 검출하는 센서. 온도센서에는 온도측정저항체, 열전대 및 서미스터가 많이 이용된다. 습도센서에는 염화리튬의 수용액을 도포한 습도소자가 많이 이용된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
이면테이퍼콜렛 - two sided channel collet

다이의 흡착면이 움푹 들어간 모양으로 2면이 테이퍼를 가지며,이 부분과 다이의 주변에 접속한 상태에서 다이를 이송시킬 수 있게한 콜렛. 많은 경우 스크러빙방향으로 테이퍼가 붙어있다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
응집제주입장치 - coagulants feeding equipment

응집침전법 등에 있어서, 충분한 프로그가 형성되도록, 응집제 및 응집보조제를 주입하는 장치. 응집제의 종류는, 원수의 질, 탁도와 취급성 등으로부터 결정된다. 주로 PAC와 황산알루미늄이 이용된다. 응집보조제는, 응집제만으로는 프로그 형성이 불충분한 경우에 응집을 도와주기 위하여 사용한다. 주로 알길산소다와 폴리머등이 이용된다. 저축조, 희석조, 주입펌프로 구성된다.

반/디 용어집 사공정 신뢰성 검사
염소제주입장치 염소초리장치 - chlorination equipment

살조류(殺藻類), 살균, 세정 등을 목적으로, 응집침전조 또는 여과기 입구 등에 염소제를 주입하기 위한 장치.

반/디 용어집 사공정 신뢰성 검사
이슬점온도검출기 노점온도검출기 - dew point temperature sensor

습한 공기의 이슬점온도를 검출하는 센서. 센서 내의 염화리튬수용액의 결정이 석출될 때까지 가열하여, 주위의 수증기압과 평형으로 전달되는 온도를 온도측정저항체로 측정하여, 이슬점온도를 구한다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
융해잠열 - heat of fusion

정온정압하에 1㏖ 또는 단위중량의 고체가 그 녹는점에서 액체로 변할 때의 엔탈피의 증가량.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
윤곽묘화 - framing exposure

묘화장치로 묘화하는 패턴을 일정폭의 윤곽과 내측(內側)으로 분리하여, 각각 노광하는 것. 근접효과에 의한 묘화 패턴의 선폭과 형상이 설계값과 틀려지는 것을, 이 방법으로 감소시킬 수 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
웨이퍼카세트 - wafer cassette

웨이퍼를 저장하는 카세트.

반/디 용어집 조립공정 다이싱
웨지 툴 - wedged tool

웨지본딩에 사용되는 본딩 툴. 쐐기모양의 앞끝을 가지고, 혼(horn) 앞머리에 부착된다. 초음파진동을 본딩와이어에 인가한다.

반/디 용어집 조립공정 본딩

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

온습도검출기 - temperature and humidity sensor

이면테이퍼콜렛 - two sided channel collet

응집제주입장치 - coagulants feeding equipment

염소제주입장치 염소초리장치 - chlorination equipment

이슬점온도검출기 노점온도검출기 - dew point temperature sensor

융해잠열 - heat of fusion

윤곽묘화 - framing exposure

웨이퍼카세트 - wafer cassette

웨지 툴 - wedged tool

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