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Sirtl 에칭 - Sirtl etching

실리콘단결정의 결함을 광학적으로 평가하는 방법의 하나. 이것의 조성은 HF:CrO3=1:1의 약품으로, 면방위<111>의 결정결함검사에 적용되는 액의 조성을 갖는다.

반/디 용어집 검사 표면 결함․이물검출
테이프캐리어패키지 - tape carrier package

TAB기술에서 제품화된 패키지의 총칭.

반/디 용어집 조립공정 본딩
정밀여과막 - micro filter membrane filter

MF의 모양은, 원형시트 모양의 평막, 치마주름 모양의 카트리지필터 및 할로우 파이버(hollow fiber) 모양의 중공사형멤브레인필터로 크게 나뉜다. 구멍지름 0.1～0.45㎛의 것이 주로 사용된다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
초점면 - focal plane

노광장치에서 광학계가 초점을 맺는 면.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
좌표재현성 - coordinate long term repeatability

마스크를 마스크 지지부에 올려놓고 빼는 등의 설치를 여러 번 반복하여 마스크 위의 패턴 좌표위치를 여러 번 측정한 값들의 오차 정도.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
회전수설정 시간 - revolution speed setup time

원심건조장치에 있어서 설정된 회전속도까지 도달하는 데 걸리는 시간.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 세정
플라즈마 디스컴장치 - plasma descum system

산소를 포함한 가스를 넣은 반응실 내에 고조파 전력을 인가하여 화학적인 활성 플라즈마를 발생시켜, 이것에 의해 패터닝된 레지스트 상(像)의 스컴을 제거하는 장치.

반/디 용어집 마스크제조공정 패턴형성장치
화이트 밸런스처리 - white balance

측정하려는 이미지센서디바이스를 사용하여 얻은 컬러화상 위에 임의의 영역에 있는 R′,G′,B′출력레벨을 일정하게 하기 위한 연산처리.

반/디 용어집 사공정 이미지센서 검사장치
활성오염먼지처리장치 - activated sludge process equipment

폐수의 청정화에 적응한 미생물(활성오염먼지)를 배양한 발기조(發氣)내에 폐수를 유동접촉시켜, 유기성폐수를 처리하는 장치. 표준법은, 발기조 및 침전조로 구성된다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

Sirtl 에칭 - Sirtl etching

테이프캐리어패키지 - tape carrier package

정밀여과막 - micro filter membrane filter

초점면 - focal plane

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회전수설정 시간 - revolution speed setup time

플라즈마 디스컴장치 - plasma descum system

화이트 밸런스처리 - white balance

활성오염먼지처리장치 - activated sludge process equipment

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