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정반자동수정기구 - automatic flatness controller

태양기어와 인터널기어의 회전속도를 변화시켜 캐리어와 정반과의 상대속도비율를 역으로 하여 정반의 마찰영역을 제어하는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 래핑
침투기화막장치 - pervaporation equipment

침투기화막(pervaporation)을 이용하여, 막을 끼워 넣고 투과측을 저압으로 하여, 폐수 중에서 물 혹은 유기물을 선택적으로 투과시켜 폐수를 처리하는 장치

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정
클린튜브시스템 CTS - clean tube system CTS

웨이퍼에 대한 오염을 방지하기 위해, 제조장치간, 제조장치와 클린스토커간 등의 반송공정을 포함하는 고청정공간을 튜브로 형성하는 시스템. 국소청정화에 의한 에너지절약 등의 이점이 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
칩비교검사장치 - die to die inspection system

같은 마스크 혹은 다른 마스크 위의 동일한 사양의 다이(칩)들의 동일성을 비교하여, 이 두 개의 패턴이 일치하지 않는 부분을 패턴결함으로 인식하는 검사장치. 패턴 검사용광학계는 단안식(單眼式)과 쌍안식(雙眼式)이 있다.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
표면결함 - surface defection

기판의 연마․세정․경시변화(aging)에 의해 생기는 흠과 피트(pit)․슬릭․오염 등의 표면적 결함.

반/디 용어집 마스크 블랭크 제조 마스크제조공정
킬레이트수지흡착탑 - chelate resin column

서로 다른 공존이온의 중심에서 불소이온과 중금속이온 등, 특정의 이온만을 흡착제거하는 성능을 갖는 킬레이트 수지를 충전한 흡착탑. 폐수중의 불소, 중급속 각 이온을 선택적으로 제거하는 방법에 있어, 미량농도까지의 제거가 가능하다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정
트랜스듀서 - transducer

전기적 에너지를 기계적 초음파진동으로 변화시켜 혼(horn)으로 진폭을 확대시키는 기구.

반/디 용어집 조립공정 본딩
적응 Z기능 - adaptive Z

웨이퍼에 걸리는 프로브 침의 압력(오버드라이브)를 웨이퍼의 모든 부분에서 일정하게 유지하는 기능.

반/디 용어집 사공정 핸들링
하프톤형위상천이마스크 하프톤형 PSM - half - tone type PSM

빛을 차단하는 차광부의 투과율을 0이 아닌 값으로 높이고 동시에 위상을 반전시켜, 투광부와 차광부가 접하는 에지(edge)에서 투광한 빛과 서로 상쇄시켜 에지부분의 빛의 강도를 0으로 하는 마스크. 반복패턴 및 접촉패턴(contact pattern)에 유효하며, 간단하다.

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

정반자동수정기구 - automatic flatness controller

침투기화막장치 - pervaporation equipment

클린튜브시스템 CTS - clean tube system CTS

칩비교검사장치 - die to die inspection system

표면결함 - surface defection

킬레이트수지흡착탑 - chelate resin column

트랜스듀서 - transducer

적응 Z기능 - adaptive Z

하프톤형위상천이마스크 하프톤형 PSM - half - tone type PSM

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