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주사형전자현미경 SEM - scanning electron microscope

직경 수 nm의 전자빔이 계통적으로 시료의 위를 제거하고, 빔이 시료와 충돌하는 점에서 발생하는 이차전자와 반사전자의 강도를 일차빔 주사와 동기시켜 기록하는 전자현미경.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
전해이온수 - electroytic ionized water electrolysis ionized water

순수(純水) 또는 미량의 전해질을 용해시킨 물을 전해하면, 양극(anode)실에서는 산성에서 강산화성 물, 음극(cathode)실에서는 알칼리성에서 강환원성의 물을 얻을 수 있다. 전해 양극수(陽極水)는 Si 표면오염금속의 제거에, 전해 음극수는 부착미세입자의 제거에 효과가 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
전해인프로세스드세싱연삭 - grinding with electrolytic inprocess dressing

다이아몬드입자를 포함하고, 휠의 결합재에 철분 등을 사용하여, 가공 중에 결합재를 전기분해작용으로 녹이면서 연삭하는 방식. 이를 위해 항상 가루를 노출시켜 날을 세우고, 날이 갈라지거나 깨지지 않고, 가공할 수 있다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
투과형전자현미경 - transmission electron microscope

일차열전자 또는 전계에 의한 전자의 회절, 혹은 투과확대상(像)을 기록하는 전자현미경.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
콘택트프린터 - contact printer

마스터 마스크와 마스크 블랭크를 진공 밀착시켜, 마스터 마스크의 패턴을 마스크 블랭크에 1:1로 전사하는 노광장치

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
합성고분자제역침투막 복합막 - synthetic polymer composite reverse osmosis membrane thinfilm composite membrane

고분자를 재료로 하는 RO막. 폴리아미드계, 복소환 폴리머계, 수용성폴리머 가교계, 중합성 모노머계 등 여러 가지다. 대부분의 막은 내잔류염소성이 낮기 때문에 완전하게 제거되거나, 간헐적으로 단시간에 잔류염소하에서 사용한다. 폴리술폰 등이 다공성 지지체 위에 매우 얇은 RO막을 형성하는 것을 복합막이라고 한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
현상균일성 - developing uniformity CD uniformity

현상결과의 균일성. 평가방법으로써 선폭균일성(CD균일성)과 막두께감소 균일성이 있다. CD균일성은 보통 CD(Critical Dimesion)을 결정하고, 이 선폭이 현상 후 어느 정도 부정합한가를 나타내는 것이고, 막두께감소 균일성은 패터닝 노광을 하지 않고 현상한 레지스트막두께의 감소량의 부정합을 나타낸다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 레지스트 처리
트랜스퍼출력 사출력 - transfer force

성형금형 캐비티에 수지를 주입하기 위해 가하는 플러저의 압력.

반/디 용어집 패키지 조립공정
콘택터 접촉단자 - contactor

피측정디바이스의 전기적 특성을 측정하기 위하여 피측정디바이스 핀에 접촉하여, 테스트와 피측정디바이스의 사이에 전기적 인터페이스를 하는 부품.

반/디 용어집 기본․공통 사공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

주사형전자현미경 SEM - scanning electron microscope

전해이온수 - electroytic ionized water electrolysis ionized water

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트랜스퍼출력 사출력 - transfer force

콘택터 접촉단자 - contactor

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