반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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캐필러리 - capillary

축 중심에 와이어를 관통하기 위한 가는 구멍이 있고, 보통 앞끝이 원추형을 한 와이어본딩용 툴. 주로 볼본딩에 사용된다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
추적가스모니터 - trace gas monitor

N2, Ar 혹은 H2 안에 함유된 미량의 불순물을 연속적으로 측정하는 분석계기. CO, CO2, O2, H2O, THC 등의 불순물을 감시한다. 측정원리에는 가스크로마토그래피, 비분산형적외선흡수법, 광산란법 등을 조합하여 이용한다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
카세트 전달기 - cassette transfer

여러 개의 수직형 반응관을 일렬로 나열하여 자동화한 장치의 한 끝에서 카세트를 반응관열을 따라 이동(반송)하고, 각 반응관에 설치된 웨이퍼 자동이송탑재장치에 카세트를 받거나 넘겨주는 장치.

반/디 용어집 산화장치 웨이퍼처리공정
파일럿빔 - pilot beam

가변개구를 통하여 수정위치를 확인하기 위한 조명광

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
차지업 - charge - up

이온주입 중에 웨이퍼 위의 절연막 등이 대전(帶電)되는 것. 이 때문에 소자가 이온주입 중에 열화되기도 하고, 파괴되기도 한다. 이것을 방지하기 위해, 전자 플러드건(electron flood gun)이 설치되는 경우가 많다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑
정밀연삭 - fine grinding

선택된 면을 이단연삭할 때의 끝마무리 연삭. 보통은 거친 연마보다 입자가 가는 숫돌을 사용한다.

반/디 용어집 기계가공 면가공장치-가공장치
파장트래커 - wavelength tracker

공기의 굴절률 변화를 추적하여, 환경의 변화를 광학적으로 보정해 주는 것.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
최대입자 - grain of maximum size

연마재 입자의 평균직경이 최대인 입자.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
평행 다운플로우 린스 - parallel downflow rinse

침적린스조의 윗 방향 먼저 순수를 공급하면, 수조의 밑 부분에 설치된 다공판을 통과하고 같은 유량으로 펌프배수되어 수조 내에 균일한 유속분포의 하강흐름(downflow)이 형성되고, 이 흐르는 순수로 린스한다. 좁은 웨이퍼 간극으로 물이 잘 흐르므로, 수조 안으로 순수의 흐름이 멈추지 않고, 효율이 양호한 린스를 할 수 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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카세트 전달기 - cassette transfer

파일럿빔 - pilot beam

차지업 - charge - up

정밀연삭 - fine grinding

파장트래커 - wavelength tracker

최대입자 - grain of maximum size

평행 다운플로우 린스 - parallel downflow rinse

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