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콜렛히터 - collet heater

합금(eutectic), 납 다이본드할 때, 다이를 가열접합성을 높여주기 위해, 콜렛 또는 콜렛홀더에 장착하는 히터.

반/디 용어집 조립공정 본딩
캐리오버 - carry over

약액 침적세정에 있어서, 웨이퍼와 카세트에 부착된 약액이 다음의 약액조까지 넘어가는 것. 전달된 PRA제의 카세트에 흡수된 약품이, 다른 수조로 삼투압에 의해 통과하고, 보관용기 중에서 증발한다. 약액과 보관웨이퍼의 오염의 원인이 된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
테이블연결 이동식묘화법 - drawing method by continuous table movement

X, Y축의 어느 하나의 축 방향으로 테이블을 연결이동시켜, 라스터 스캔 또는 벡터 스캔과 조합하여 기판 위에 이차원으로 주사하여 묘화하는 방식

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
컬럼정렬 - column alignment

전자빔의 축을 정렬하고, 전자광학계의 렌즈의 중심에 전자빔을 통과시키기 위한 조정. 캐소드, 스펙트로메터 등의 기계적인 정렬과 빔, 개구(aperture) 등의 전기적인 정렬이 있다.

반/디 용어집 사공정 디버그
클린토일렛 청정화장실 - clean toilet

청정실 안에서 사용되는 화장실. 용변시에 오염방지를 위해, 변기안을 국소배기하기도 하고, 자동으로 세정건조하며, 휴지를 사용하지 않는 것도 있다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
전자빔 어닐장치 - electron beam annealer

고에너지의 전자빔을 조사하여 웨이퍼표면, 또는 웨이퍼 위에 형성된 막을 국부적으로 단시간에 열처리하는 장치. 전자선의 조사방식에 따라 펄스 전자빔 어닐장치, CW 전자빔 어닐장치로 구분된다.

반/디 용어집 어닐장치 웨이퍼처리공정
점결함 - point defect

한 개, 어떤 경우에는 복수개 격자부에서 결정의 대칭성이 손상된 결함.

반/디 용어집 특성용어 검사
전자(電磁) 렌즈 - eletro - magnetic lens

자계의 작용에 의해 전자빔을 집속, 결상(結像)하는 렌즈. 일반적으로, 축대칭의 링(ring)모양의 코일과 둔철(鈍鐵) 등의 자성재료인 요크로 구성되어 있다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
타겟이용 효율 - efficiency of target utilization

사용전 타겟의 용적에 대한 소모용적의 비율. 마그네슘 캐소드에서 타겟 재료는 자극(磁極)에 삽입된 특정영역(침식영역)에 대하여 소모된다. 이 침식영역(erosion area)에의 소모깊이로 타겟의 수명이 결정된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

콜렛히터 - collet heater

캐리오버 - carry over

테이블연결 이동식묘화법 - drawing method by continuous table movement

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클린토일렛 청정화장실 - clean toilet

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점결함 - point defect

전자(電磁) 렌즈 - eletro - magnetic lens

타겟이용 효율 - efficiency of target utilization

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