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CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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주변퇴적 - peripheral deposition

CVD에서 반응이 가공(加工)하는 부분에 한정되지 않고, 주변까지 확장되어 석출되는 부분.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
ALC 알고리즘제어기 - algorithm controller

플래시메모리의 평가 알고리즘에 따라, 고속으로 시험을 실행하는 제어기.

반/디 용어집 사공정 에싱
총합시간정밀도 - overall timing accuracy

장치의 타이밍에 대한 총합 정밀도. 일반적으로는 피측정디바이스에 인가하는 드라이버계, 피측정디바이스의 출력시간을 판정하는 비교기(comparator)계의 오차를 포함하여 표현된다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
주사형오제전자현미경SAM - scanning Auger electron microscope

마이크로전자빔을 주사하여, AES를 실시하는 전자현미경.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
터보 분자 펌프 - turbo molecular pump

터빈 모양의 날개를 가진 고속회전 로터를 회전시켜, 날개에 충돌하는 기체 분자에 운동량을 주어 기체를 운송하는 기체운송방식 진공펌프. 분자가 흐르도록 해야하는 곳에서 유용하게 사용된다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
파이널웨이퍼테스트 포스트테스트 - final - wafer test

용장회로를 갖는 메모리디바이스의 웨이퍼테스트 공정에서, 특히 불량구제처리를 한 후의 테스트를 가리킨다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
풀테스터 - pull tester

와이어본드의 인장강도를 시험하는 장치. 접합된 와이어를 잡아당겨, 강도를 측정한다.

반/디 용어집 조립공정 검사평가
중력식여과기 - gravity filter

여과기의 구조가 개방조이며, 그 흐름이 위에서 아래로 흐르는 자연류하(流下)인 장치. 압력식여과기에 대응하는 명칭이다. 여과구성은, 모래단층 또는 안tm라사이트와 모래의 2층여과가 많이 사용되고 있다.

반/디 용어집 사공정 에싱
자장측정기 - magnetic field measuring instrument

자계, 자속밀도, 자속의 크기를 측정하는 기기. 전자유도에 의해 코일에 발생하는 전압을 측정하는 서치코일(search coil)법과, 홀효과(Hole effect)를 이용한 가우스미터가 주로 이용된다. 그 외에 플럭스게이트(flux gate)법과, 초전도를 이용한 스퀴드(squid)법이 있다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

주변퇴적 - peripheral deposition

ALC 알고리즘제어기 - algorithm controller

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터보 분자 펌프 - turbo molecular pump

파이널웨이퍼테스트 포스트테스트 - final - wafer test

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중력식여과기 - gravity filter

자장측정기 - magnetic field measuring instrument

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