열경화성수지를 가열하거나, 이것에 촉매 등이 첨가된 때, 이 수지가 경화하기 시작할 때부터 성형이 끝날 때까지의 시간.
반/디 용어집패키지조립공정
좌표각도차 - coordinate nominal accuracy
마스크 위의 패턴의 좌표위치를 4직각(0°,90°,180°,270°)에서 각각 여러 번 측정한 값들의 오차 정도.
반/디 용어집검사장치마스크제조공정
저항가열 진공증착 장치 - resistance heating evaporation system
W, Ta, Mo 등 높은 용융점을 가진 물질로 만들어진 히터와 BN 등의 화합물재료에 전기를 통하여 집적 증발재료를 가열 증발시키는 직접가열식장치와, 도가니와 발열체로 구성된 간접가열식장치로 구분된다. 진공증착장치 중에서 가장 간단하고, 안정된 에너지 상태를 이용한다는 장점이 있다.