반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

CAE 용어집

CAE 관련 용어를 확인해 보세요.

반/디 용어집

반도체 / 디스플레이 공정 및 장비 관련 용어를 확인해 보세요.

통신 용어집

통신 분야의 다양한 용어를 확인해 보세요.

All
CAE
반도체∙디스플레이
통신

입자정전전하량측정기 - electrostatic charge meter for particle

한 전극에서 검출된 입자가 갖고있는 전하량을, 미소전류계를 이용하여 전류값으로 측정하고, 전류값과 도달입자수에서 입자전하량을 산출하는 측정기.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
인덱싱 - indexing

웨이퍼를 프로빙하기 위하여 서로 인접한 칩의 세로, 또는 가로방향으로 이동시키는 것을 말한다. 멀티사이트 프로빙의 경우에는 여러 개의 칩이 이동한다. 칩과 칩 사이의 거리가 다르면 이종 인덱싱이라고 한다.

반/디 용어집 사공정 핸들링
온액시스 정렬 - on - axis

노광위치와 동일한 위치에서 실시하는 정렬. 쓰루풋이 오프액시스정렬에 비해 낮다. 이 정렬방법은, 오프액시스정렬의 오차를 제거하는 데 이용된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
인상축 - pull shaft

시드 축에 강체 축을 사용한 인상축.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
올메탈제가스공급부품 - all metal gas supplying components

가스의 유로(流路)에서 수지재료를 제거하고, 가스접합면에 정밀연마와 정밀세정을 실시하여, 미립자의 발생, 외부링크 및 탈가스 작업을 없앤 올메탈부품. 밸브, 레귤레이터, 유량제어기. 필터 등이 있다.

반/디 용어집 수질분석기기 설비․환경공정
옵셋인쇄기 - offset printing press

판의 잉크를 일단 전사고무에 그려넣고, 이 고무의 탄성을 이용하여, 마킹하는 인쇄기. IC, 트랜지스터, 콘덴서 등의 반도체부품 및 릴레이(relay), 스위치 등에 마킹하는 데 사용된다.

반/디 용어집 조립공정 마킹
외주도식절단기 OD톱 - outer diameter saw

원반 모양의 얇은 판의 바깥 둘레에 다이아몬드 등의 연마입자를 고착시킨 외주도 연마기를 사용하여, 막대 모양의 재료를 절단하여 웨이퍼 도는 블록을 제조하는 기계.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
유기금속 에피택셜 성장장치 MOPVE 장치 OMPVE 장치 - metal organic vapor phase epitaxial growth system MOVPE system OMVPE system

유기금속화합물과 PH3, AsH3 등의 수소화합물을 이용하여 GaP, GaAs 등의 화합물반도체 단결정을 성장시키는 장치. 수소가스를 캐리어가스로 이용하고, 액체금속화합물을 버블링하여, 이것들의 증기를 함유한 가스와 수소화합물가스를 반응실에서 열분해한다.

반/디 용어집 에피택셜 성장장치 웨이퍼처리공정
유도결합 플라즈마 식각장치 - inductively coupled plasma etching system

고주파유도자기장에 의해 발생되는 유도전계에 의해 전자가 가속되는데, 이것에 의해 생성되는 플라즈마를 이용한 플라즈마식각장치. 유도결합 안테나의 모양에 따라, 기둥모양 코일(도시)과 평판 모양의 코일이 있다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정

기술용어통 처음으로

반디통 용어집

CAE 용어집

반/디 용어집

통신 용어집

자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

입자정전전하량측정기 - electrostatic charge meter for particle

인덱싱 - indexing

온액시스 정렬 - on - axis

인상축 - pull shaft

올메탈제가스공급부품 - all metal gas supplying components

옵셋인쇄기 - offset printing press

외주도식절단기 OD톱 - outer diameter saw

유기금속 에피택셜 성장장치 MOPVE 장치 OMPVE 장치 - metal organic vapor phase epitaxial growth system MOVPE system OMVPE system

유도결합 플라즈마 식각장치 - inductively coupled plasma etching system

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!