플로팅존법 FZ법 부유대역용융법 - floating zone melting method
단결정으로 만들려는 재료의 다결정 막대를 준비하여, 이것을 수직으로 놓고, 아래위를 클램핑(clamping)하고, 중간에 고주파나 전자빔 등으로 부분적으로 가열 용융하고, 이 용융 존을 아래에서 위또는 위에서 아래로 이동시켜서 단결정을 성장시키는 방법. 이 존(대역)을 봉 전체에 걸쳐 이동시키면 존 정제효과에 의해 순화된다. 현재, 주로 산소불순물 등의 적지 않은 고순도 결정제작에 사용된다.
반/디 용어집
웨이퍼제공정
단결정제조