반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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편향기 - deflector

전계 또는 자계를 이용하여 전자빔의 진행방향을 휘게 하는 것

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
제전장치 - charge neutralizer

대전되어 있는 물품에서 정전기를 재빨리 제거하는 장치. 접지에 의한 제전에는 유효하지 않고, 절연체와 동작대상에 유효하며, 이오나이저, 진공자외선조사제전장치, 연X선조사제전장치 등이 있고, 사용분위기에 따라 구분된다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
Q스위치 펄스광 - Q - switch pulse beam

초음파 Q스위치소자와 포켈스 Q스위치소자에 의해 0～50kHz 정도의 주파수에서 변조되어서 펄스 모양으로 발진하는 Nd:YAG 레이저 등의 레이저광

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
현상전 베이킹 PEB - post - exposure bake

단일 파장의 빛으로 노광할 경우, 정재파(standing wave)에 의한 레지스트 패턴(레지스트측벽 모양)의 변화를 줄이기 위해, 노광한 후 현상하기 전에 베이킹하는 것. 또, 화학증폭형 레지스트 노광 후의 접촉반응을 촉진하기 위해 실시한다.

반/디 용어집 베이킹장치 웨이퍼처리공정
자동침정렬 기능 - automatic probe to pad alignment function

프로브침 끝앞의 위치를 광학계로 계측하여, 프로브의 앞끝을 패드에 자동으로 정렬하는 기능.

반/디 용어집 사공정 핸들링
초음파방식 - ultrasonic sensing method

초음파를 음원(音源)으로 하고, 표면에서 반사되어 나오는 시간을 검출하여, 물체의 두께․ 평탄도를 측정하는 방식.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
전기토치 - electric flame off

볼본딩에 사용되는 볼을 만드는 장치. 캐필러리 앞 끝에 나온 와이어를 전극에서의 방전에너지로 용융시켜 볼을 형성한다. 이 전극을 토치로드(torch rod)라고 한다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
페이지검사 기능 - page test function

페이지모드 기능을 갖는 DRAM의 시험에 있어서, 시험패턴의 동작에서 자동적으로 페이지 동작을 검출하여 페이지모드테스트의 테스트 파라메터를 설정하는 기능.

반/디 용어집 사공정 디버그
파단모드 목부러짐 넥브레이킹 리드벗겨짐 - shearing mode failure mode neck breaking second bondoff

본딩와이어 인장강도시험에 있어서, 끊어진 모양. 제1 본드가 벗켜지는 것을 A모드, 볼이 일어선 부분에서 끊어진 것을 B모드, 루프중간에서 끊어진 것을 C모드, 제2 본드넥(bond neck)부분에서 끊어진 것을 D모드, 제2 본드가 벗겨지는 것을 E모드라고 한다. B모드를 목부러짐(neck breaking), E모드를 리드벗겨짐(second bond off)이라고 한다.

반/디 용어집 조립공정 본딩

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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제전장치 - charge neutralizer

Q스위치 펄스광 - Q - switch pulse beam

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자동침정렬 기능 - automatic probe to pad alignment function

초음파방식 - ultrasonic sensing method

전기토치 - electric flame off

페이지검사 기능 - page test function

파단모드 목부러짐 넥브레이킹 리드벗겨짐 - shearing mode failure mode neck breaking second bondoff

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