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촉매수지탈산소장치 - oxygen reduction equipment with catalytic resin

패더디움을 달아놓은 이온교환수지에 환원제를 혼합시킨 물을 공급하여, 수중의 용재산소를 제거하는 장치. 패더디움의 촉매작용에 의해, 수소가스 또는 히드라진과 수중의 용재산소를 반응시켜 제거한다. 용재산소 이외의 용재가스는 제거할 수 없다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
회전식잉곳절단기 - rotating ingot slicing machine

반도체제조절단기에 있어서, 잉곳을 회전시키면서 절단하고, 얇은 판을 제조하는 기계. 이 방법으로 절단하면 잉곳의 중심부분에서 갈라진다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
자기커플링회전도입 - magnetic coupled feedthrough

진공분위기 속에서 회전시킬 경우에 있어서, N극 S극의 자기결합력을 이용하여 외부회전구 동력을 전달하는 방식. 비접촉회전이며, 많은 경우 진공과 대기와의 사이에 차단벽을 갖는 구조이므로, 진공봉합(seal)의 수명은 무한대이고, 높은 진공을 유지하는 데 유효하다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
크로스오버 - crossover

전자총 캐소드면 위의 서로 다른 곳에서 방사된 전자가, 전자총 안에서 전계의 영향을 받아, 모여서 교차하는 것. 이 위치에서 전자빔의 단면적이 최소가 되어 전자빔의 세기가 가장 크므로, 실질적으로 전자원이 된다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
정벽 - crystal habit

동일한 결정에서 동일 지수면의 발달정도가 다르기 때문에 발생하는 외형변화.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
테일처리 - tail process tailing

결정성장의 최종공정으로, 바디완료와 동시에 점차 결정직경을 감소시키는 방법.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
재생폐수중화장치 - regeneration waste water neutralizing equipment

이온교환장치의 재생에 사용되는 농후산, 농후알칼리의 재생폐수를 중화처리를 하기 위한 장치. 보통, 교반혼합설비, pH조절설비, 중화제 주입설비 등으로 구성된다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
타이밍발생기 - timing generator

피측정디바이스를 평가하기 위해 테스트시스템이 구비하는 각종 타이밍신호의 발생기.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
전자 플러드건 - electron flood gun

이온주입 중에 발생하는 웨이퍼의 정전하 차지업(charge up)을 방지하기 위해, 저에너지의 전자를 웨이퍼에 공급하여 중화시키는 기구. 전자총, 전자샤워(electron shower)라고 한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

촉매수지탈산소장치 - oxygen reduction equipment with catalytic resin

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재생폐수중화장치 - regeneration waste water neutralizing equipment

타이밍발생기 - timing generator

전자 플러드건 - electron flood gun

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