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투영광학계 - projection optical system

레티클과 마스크위의 패턴을, 등배 또는 축소시켜, 웨이퍼 위에 투영하기 위한 광학계.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
프레임정렬장치 - lead frame loader

몰딩장치에 로딩프레임을 장착하는 준비작업을 하는 장치. 로딩프레임을 리드프레임에 공급하고, 정렬․배치결정․예비가열 등을 실시된다.

반/디 용어집 패키지 조립공정
풀업 건조장치 - capillary drying equipment pull up drying equipment

60。C 내외 온도의 초순수 속에 웨이퍼를 1㎜/s 정도의 일정속도로 수직으로 끌어올려 건조하는 장치. 웨이퍼와 치구(jig)와의 접촉부의 물방울을 제거하는 기술이 중요하다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 세정
측정선형성 - measurement linearity

측정 데이터의 평균값과 이상값와의 비례관계에서의 차이

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정
태치롤러 - tatch roller

와이어릴로부터 계속 나오는 와이어 위치. 와이어릴에 감싸진 와이어위치와 와이어트래버스 유니트와의 부정합을 검지하기 위해, 와이어트래버스 유니트측에 설치한 롤러.

반/디 용어집 기계가공 절단장치-하드기능
형태변형 트루잉 - truing

휠차의 모양을 변화시키거나 완전한 원(圓)형이 되도록 하기 위하여 실시되는 횔의 수정.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
플레임리스원자흡광분석기 측연로원자흡광분석기 - flameless atomic absorption spectrometer graphite furnace atomic absorption spectrometer

플레임(flame)을 이용하지 않는 원자흡광분석장치. 시료 중의 성분원소를 전기가열하여 고온로(흑연로) 안에서 원자화시켜, 발생된 원자 증기층의 흡광도를 측정하여, 미량원소의 양을 측정한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
회전판접촉장치 - rotating biological contactor

미생물을 접축제에 부착시켜, 유기물을 정화하는 고정생물막 방식의 한 방법에 있어, 일부침수된 접촉재를 회전시켜 공기 중의 산소를 섭취하고, 접촉재에 폐수를 접촉시켜 정화하는 장치

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정
진공자외선조사제전장치 - deep ultraviolet charge neutralizer

중수소램프에서 조사되는 진공자외선을 제전대상근방의 기체분자에 쏘아, N2+이온 등과 전자를 발생시켜, 대전물체표면의 전하를 반대 극성이온으로 중화․제전하는 장치. 제전이 곤란한 진공․감압하에서와 불활성분위기에서 특히 유효하다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

투영광학계 - projection optical system

프레임정렬장치 - lead frame loader

풀업 건조장치 - capillary drying equipment pull up drying equipment

측정선형성 - measurement linearity

태치롤러 - tatch roller

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플레임리스원자흡광분석기 측연로원자흡광분석기 - flameless atomic absorption spectrometer graphite furnace atomic absorption spectrometer

회전판접촉장치 - rotating biological contactor

진공자외선조사제전장치 - deep ultraviolet charge neutralizer

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